Braccio robot in carburo di silicio

Il braccio robotico in carburo di silicio di Veteksemicon è una soluzione di elaborazione a semiconduttore di fascia alta progettata specificamente per ambienti industriali duri. Utilizzando la tecnologia di materiale in carburo di silicio ad alta purezza avanzata, dimostra una stabilità e una durata eccezionali a temperature elevate, ambienti corrosivi e condizioni di vuoto ultra-alte. Come componente chiave nella gestione dei wafer, nell'attacco e nei processi di deposizione, il nostro braccio robotico migliora significativamente la produttività e riduce i costi di manutenzione.

Ⅰ. Parametri tecnici

Ⅱ. Vantaggi del core del braccio robot in carbone di silicio Veteksemicon

1. Tolleranza all'ambiente estremo

Il nostro braccio robot utilizza un rivestimento SIC formulato in modo univoco che subisce molteplici processi di deposizione ad alta temperatura, consentendole di mantenere l'integrità strutturale a temperature sostenute di 1500 ° C e resistere efficacemente alla corrosione dal bombardamento plasmatico e agli ambienti acidi e alcalini forti. Ciò affronta fondamentalmente i punti deboli dei materiali tradizionali che sono soggetti all'invecchiamento e hanno una breve durata in condizioni di lavoro estreme.

2. Eccellenti proprietà meccaniche

Adottando una struttura composita di substrato di grafite e rivestimento SIC, abbiamo raggiunto una rigidità di gran lunga superiore a quella dei materiali metallici garantendo al contempo che il braccio sia estremamente leggero. Questo design garantisce che la deformazione del braccio del robot sia estremamente piccola durante il movimento alternativo ad alta velocità, sopprimendo efficacemente il jitter, controllando così saldamente l'accuratezza del posizionamento ripetuto entro ± 0,02 mm, garantendo la trasmissione sicura dei wafer di precisione.

3. pulizia ultra-alta

Comprendiamo che la contaminazione da particolato è l'assassino numero uno di resa. Pertanto, ogni braccio robot subisce una lucidatura di precisione e un trattamento di superficie specializzato, con conseguente rugosità superficiale RA inferiore a 0,1 μm. Il rivestimento aderisce saldamente, prevenendo qualsiasi rischio di peeling. I nostri prodotti sono testati al 100%, soddisfando completamente i requisiti di camera pulita alti e pronti per l'uso in linee di produzione all'avanguardia.

4. Lunga durata di servizio

Grazie alla durezza intrinseca di SIC di 3000 HV e all'eccellente resistenza all'usura, i nostri bracci robot sperimentano un degrado minimo delle prestazioni anche dopo decine di migliaia di cicli di movimento. La loro durata di servizio è più volte quella dei normali componenti in lega di ceramica o in alluminio, riducendo significativamente i tempi di inattività per la sostituzione e la manutenzione, offrendo un significativo efficacia in termini di costi per i nostri clienti.

Ⅲ. Campi di applicazione principali

La verifica della catena ecologica del braccio ecologico di Veteksemicon Silicon Carbide Robot copre le materie prime alla produzione, ha superato la certificazione standard internazionale e ha una serie di tecnologie brevettate per garantirne l'affidabilità e la sostenibilità nei semiconduttori e nei nuovi campi energetici. Benvenuti a consultarci in qualsiasi momento.