Paddle a sbalzo in carburo di silicio

Paddle a sbalzo in carburo di silicio

La pala a sbalzo in carburo di silicio di Vetek Semiconductor è un componente importante nel processo di produzione di semiconduttori, in particolare adatto a forni di diffusione o forni LPCVD in processi ad alta temperatura come diffusione e RTP. La nostra paletta a sbalzo in carburo di silicio è attentamente progettata e prodotta con eccellente resistenza e resistenza meccanica ad alta temperatura e può trasportare in modo sicuro e affidabile i wafer sul tubo di processo in condizioni di processo difficili per vari processi ad alta temperatura come la diffusione e RTP. Non vediamo l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina. Free per chiederci.

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La pala a sbalzo in carburo di silicio di Vetek Semiconductor è realizzata in carburo di silicio di alta purezza e ha un'eccellente resistenza ad alta temperatura e resistenza meccanica. È un componente chiave indispensabile nel processo di produzione dei semiconduttori, in particolare nei forni di diffusione o LPCVD e processi RTP. La progettazione e la produzione precisa della paletta a sbalzo in carburo di silicio garantisce il posizionamento sicuro e il trasferimento di wafer per soddisfare i requisiti di processo ad alta precisione.

Paddle a sbalzo in carburo di silicio di Vetek Semiconductor è realizzato in carburo di silicio come materiale principale. Il carburo di silicio ha le caratteristiche di alta resistenza e buona stabilità termica, quindi può resistere a condizioni difficili nell'ambiente di processo ad alta temperatura dei forni a semiconduttori. Uno dei motivi per la scelta del carburo di silicio è perché può adattarsi all'ambiente ad alta temperatura nei forni a semiconduttori.

La progettazione della paletta a sbalzo in carburo di silicio consente di estenderlo nel tubo di processo nel forno ed essere saldamente fissata a un'estremità fuori dal tubo. Questo design garantisce che il wafer elaborato rimanga stabile e supportato durante il processo e riduce al minimo le interferenze con l'ambiente termico nel forno.

Vetek Semiconductor si impegna a fornire prodotti a paddle SIC SIC di alta qualità. I nostri prodotti sono attentamente progettati e fabbricati per soddisfare i requisiti rigorosi del processo di produzione dei semiconduttori. L'eccellente prestazione e l'affidabilità della paletta a sbalzo in carburo di silicio lo rendono un componente chiave indispensabile nel settore dei semiconduttori. Vetek Semiconductor si impegna a fornire prodotti di qualità a prezzi competitivi e non vediamo l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina.


Parametro del prodotto della paletta a sbalzo in carburo di silicio

Proprietà fisiche del carburo di silicio ricristallizzato
Proprietà Valore tipico
Temperatura di lavoro (° C) 1600 ° C (con ossigeno), 1700 ° C (ambiente di riduzione)
Contenuto sic > 99,96%
Contenuto SI gratuito <0,1%
Densità di massa 2,60-2,70 g/cm3
Porosità apparente <16%
Resistenza di compressione > 600 MPA
Forza di piegatura fredda 80-90 MPa (20 ° C)
Forza di piegatura calda 90-100 MPa (1400 ° C)
Espansione termica @1500 ° C. 4.70 10-6/° C.
Conducibilità termica a 1200 ° C. 23 w/m • k
Modulo elastico 240 GPA
Resistenza agli shock termici Estremamente buono


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Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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