Rivestimento in carburo di silicio

VeTek Semiconductor è specializzata nella produzione di prodotti di rivestimento in carburo di silicio ultra puri, questi rivestimenti sono progettati per essere applicati a grafite purificata, ceramica e componenti metallici refrattari.

I nostri rivestimenti ad elevata purezza sono destinati principalmente all'uso nei settori dei semiconduttori e dell'elettronica. Fungono da strato protettivo per supporti wafer, suscettori ed elementi riscaldanti, proteggendoli dagli ambienti corrosivi e reattivi incontrati in processi come MOCVD ed EPI. Questi processi sono parte integrante della lavorazione dei wafer e della produzione dei dispositivi. Inoltre, i nostri rivestimenti sono particolarmente adatti per applicazioni in forni a vuoto e riscaldamento di campioni, dove si incontrano ambienti ad alto vuoto, reattivi e con ossigeno.

Noi di VeTek Semiconductor offriamo una soluzione completa con le nostre capacità avanzate di officina meccanica. Ciò ci consente di produrre i componenti di base utilizzando grafite, ceramica o metalli refrattari e di applicare internamente i rivestimenti ceramici SiC o TaC. Forniamo anche servizi di rivestimento per le parti fornite dai clienti, garantendo flessibilità per soddisfare le diverse esigenze.

I nostri prodotti di rivestimento in carburo di silicio sono ampiamente utilizzati nell'epitassia Si, epitassia SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo di incisione, processo di incisione ICP/PSS, processo di vari tipi di LED, inclusi LED blu e verde, LED UV e UV profondo LED ecc., adattato alle apparecchiature LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e così via.

Parti del reattore che possiamo realizzare:

Il rivestimento in carburo di silicio offre diversi vantaggi esclusivi:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametro del rivestimento in carburo di silicio di VeTek Semiconductor

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD
Proprietà	Valore tipico
Struttura cristallina	FCC fase β policristallina, prevalentemente orientata (111).
Densità del rivestimento SiC	3,21 g/cm³
Rivestimento SiCDurezza	Durezza 2500 Vickers (carico 500 g)
Granulometria	2~10μm
Purezza chimica	99,99995%
Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura di sublimazione	2700 ℃
Resistenza alla flessione	415 MPa RT a 4 punti
Modulo di Young	Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
Conducibilità termica	300W·m^-1·K^-1
Dilatazione termica (CTE)	4,5×10-6K^-1

STRUTTURA CRISTALLINA DEL FILM CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Suscettore Epi rivestito in carburo di silicio Supporto per wafer con rivestimento SiC Copertura satellitare rivestita in SiC per MOCVD Suscettore Epi wafer con rivestimento CVD SiC Elemento riscaldante con rivestimento CVD SiC Porta wafer satellitare Aixtron Ricevitore Epi con rivestimento SiC Parti in grafite a mezzaluna con rivestimento in SiC

View as

Sic-chuck con rivestimento SIC

Vetek Semiconductor è un produttore di spicco e fornitore di e-chack con rivestimento SIC in Cina. E-chuck rivestito SIC è appositamente progettato per il processo di incisione del wafer GAN, con prestazioni eccellenti e una lunga durata, per fornire supporto a tutto tondo per la produzione di semiconduttori. La nostra forte capacità di elaborazione ci consente di fornirti il suscettore della ceramica sic che desideri. Non vedo l'ora di chiedere.

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Piastra di incisione SIC ICP

Vetek Semiconductor offre piastre di incisione ICP SIC ad alte prestazioni, progettate per applicazioni di incisione ICP nel settore dei semiconduttori. Le sue proprietà uniche del materiale consentono di funzionare bene in ambienti ad alta temperatura, alta pressione e corrosione chimica, garantendo prestazioni eccellenti e stabilità a lungo termine in vari processi di attacco. Come produttore e fornitore di piastre di incisione ICP SIC in Cina, Vetek Semiconductor non vede l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine.

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Unità di riscaldamento a grafite

L'unità di riscaldamento a grafite a semiconduttore Vetek è una soluzione di riscaldamento industriale ad alte prestazioni realizzata in materiale di grafite ad alta purezza, che può fornire un effetto di riscaldamento preciso ed efficiente. L'unità di riscaldamento a grafite è ampiamente utilizzata in semiconduttore, elettronica, ceramica e altri campi. Benvenuto la tua ulteriore richiesta.

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SUS SUSCTOR LED UV con rivestimento SIC

Il suscettore a LED UV profondo rivestito di SIC è progettato per il processo MOCVD per supportare una crescita efficiente e stabile a LED UV profondo epitassiale. Vetek Semiconductor è un produttore di spicco e fornitore di suscettori UV profondi ricoperti di SIC in Cina. Abbiamo una ricca esperienza e abbiamo stabilito relazioni cooperative a lungo termine con molti produttori di epitassiali LED. Siamo il principale produttore domestico di prodotti suscettori per LED. Dopo anni di verifica, la durata della nostra vita del prodotto è alla pari con quella dei principali produttori internazionali. In attesa della tua richiesta.

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Epitaxy Provvidenza a LED

Il suscettore epitassia a LED di Vetek Semiconductor è progettato per la produzione epitassiale a LED blu e verde. Combina il rivestimento in carburo di silicio e la grafite SGL e ha un'alta durezza, bassa rugosità, buona stabilità termica e eccellente stabilità chimica. Il suscettore Epitaxy a LED è uno dei prodotti più eccezionali di Vetek Semiconductor. Attendiamo con impazienza la tua richiesta.

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Materia prima CVD ad alta purezza CVD

La materia prima SIC CVD ad alta purezza preparata dal CVD è il miglior materiale di origine per la crescita del cristallo in carburo di silicio mediante trasporto di vapore fisico. La densità della materia prima SIC CVD ad alta purezza fornita da Vetek Semiconductor è superiore a quella delle piccole particelle formate dalla combustione spontanea di gas contenenti S e C e non richiede un forno di sinterizzazione dedicato e ha un tasso di evaporazione quasi costante. Può coltivare cristalli SIC SIC estremamente di alta qualità. In attesa della tua richiesta.

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Come produttore e fornitore professionista Rivestimento in carburo di silicio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Sia che tu abbia bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della propria regione o desideri acquistare avanzati e durevoli Rivestimento in carburo di silicio realizzati in Cina, puoi lasciarci un messaggio.

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