Rivestimento in carburo di silicio

Il nostro anello di tenuta con rivestimento SIC per epitassia è un componente di tenuta ad alte prestazioni basato su compositi di grafite o carbonio carbonio rivestiti con carburo di silicio ad alta purezza (SIC) mediante deposizione di vapore chimico (CVD), che combina la stabilità termica della grafite con la grafite termica con la grafite per la grafite.

Il suscettore di grafite EPI a wafer singolo di Veteksemicon è progettato per il carburo di silicio ad alte prestazioni (SIC), il nitruro di gallio (GAN) e l'altro processo epitassiale a semiconduttore di terza generazione, ed è la componente del cuscinetto di core del foglio epitassiale ad alta precisione nella produzione di massa.

Un componente importante utilizzato nel processo di incisione della fabbricazione del wafer è l'anello di messa a fuoco del plasma, la cui funzione è quella di tenere il wafer in posizione per mantenere la densità plasmatica e prevenire la contaminazione dei lati del wafer. VETEK Semiconductor fornisce materiale per focus sull'incisione plasmatica.

Vetek Semiconductor è un produttore di spicco e fornitore di e-chack con rivestimento SIC in Cina. E-chuck rivestito SIC è appositamente progettato per il processo di incisione del wafer GAN, con prestazioni eccellenti e una lunga durata, per fornire supporto a tutto tondo per la produzione di semiconduttori. La nostra forte capacità di elaborazione ci consente di fornirti il ​​suscettore della ceramica sic che desideri. Non vedo l'ora di chiedere.

Veteksemicon fornisce piastre di incisione ICP SIC ad alte prestazioni, progettate per applicazioni di incisione ICP nel settore dei semiconduttori. Le sue proprietà uniche del materiale consentono di funzionare bene in ambienti ad alta temperatura, alta pressione e corrosione chimica, garantendo prestazioni eccellenti e stabilità a lungo termine in vari processi di attacco.

L'unità di riscaldamento a grafite a semiconduttore Vetek è una soluzione di riscaldamento industriale ad alte prestazioni realizzata in materiale di grafite ad alta purezza, che può fornire un effetto di riscaldamento preciso ed efficiente. L'unità di riscaldamento a grafite è ampiamente utilizzata in semiconduttore, elettronica, ceramica e altri campi. Benvenuto la tua ulteriore richiesta.