Suscettore rivestito in SiC MOCVD

Parametri tecnici

STRUTTURA CRISTALLINA DEL FILM CVD SIC

Definizione e composizione del prodotto

Il suscettore rivestito SiC VETEK MOCVD è un componente premium per il trasporto di wafer progettato specificamente per la lavorazione epitassiale di semiconduttori di terza generazione, come GaN e SiC. Questo prodotto integra le proprietà fisiche superiori di due materiali ad alte prestazioni:

Substrato di grafite ad elevata purezza: Prodotto utilizzando la tecnologia di pressatura isostatica per garantire che il materiale di base possieda un'eccezionale integrità strutturale, alta densità e stabilità al trattamento termico.

Rivestimento SiC CVD: Uno strato protettivo denso e privo di tensioni in carburo di silicio (SiC) viene sviluppato sulla superficie della grafite attraverso la tecnologia avanzata di deposizione chimica in fase vapore (CVD).

Perché VETEK è la tua garanzia di rendimento

Massima precisione nel controllo dell'uniformità termica: A differenza dei supporti convenzionali, i suscettori VETEK raggiungono un trasferimento di calore altamente sincronizzato su tutta la superficie attraverso il controllo di precisione su scala nanometrica dello spessore del rivestimento e della resistenza termica. Questa sofisticata gestione termica riduce al minimo la deviazione standard della lunghezza d'onda (STD) sulla superficie del wafer, migliorando significativamente sia la qualità del singolo wafer che la consistenza complessiva del batch.

Protezione a lungo termine con zero contaminazione da particelle: Nelle camere di reazione MOCVD contenenti gas altamente corrosivi, i normali piedistalli in grafite sono soggetti a sfaldamento delle particelle. Il rivestimento CVD SiC di VETEK possiede un'eccezionale inerzia chimica, agendo come uno scudo impenetrabile che sigilla i micropori di grafite. Ciò garantisce l'isolamento totale delle impurità del substrato, prevenendo qualsiasi contaminazione degli strati epitassiali di GaN o SiC.

Eccezionale resistenza alla fatica e durata di servizio:Grazie al processo di trattamento dell'interfaccia proprietario di VETEK, il nostro rivestimento SiC raggiunge un adattamento ottimizzato dell'espansione termica con il substrato di grafite. Anche in caso di cicli termici ad alta frequenza tra temperature estreme, il rivestimento mantiene un'adesione superiore senza staccarsi o sviluppare microfessure. Ciò riduce significativamente la frequenza della manutenzione dei pezzi di ricambio e abbassa il costo totale di proprietà.

Il nostro laboratorio