Rivestimento in carburo di silicio

VeTek Semiconductor è specializzata nella produzione di prodotti di rivestimento in carburo di silicio ultra puri, questi rivestimenti sono progettati per essere applicati a grafite purificata, ceramica e componenti metallici refrattari.

I nostri rivestimenti ad elevata purezza sono destinati principalmente all'uso nei settori dei semiconduttori e dell'elettronica. Fungono da strato protettivo per supporti wafer, suscettori ed elementi riscaldanti, proteggendoli dagli ambienti corrosivi e reattivi incontrati in processi come MOCVD ed EPI. Questi processi sono parte integrante della lavorazione dei wafer e della produzione dei dispositivi. Inoltre, i nostri rivestimenti sono particolarmente adatti per applicazioni in forni a vuoto e riscaldamento di campioni, dove si incontrano ambienti ad alto vuoto, reattivi e con ossigeno.

Noi di VeTek Semiconductor offriamo una soluzione completa con le nostre capacità avanzate di officina meccanica. Ciò ci consente di produrre i componenti di base utilizzando grafite, ceramica o metalli refrattari e di applicare internamente i rivestimenti ceramici SiC o TaC. Forniamo anche servizi di rivestimento per le parti fornite dai clienti, garantendo flessibilità per soddisfare le diverse esigenze.

I nostri prodotti di rivestimento in carburo di silicio sono ampiamente utilizzati nell'epitassia Si, epitassia SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo di incisione, processo di incisione ICP/PSS, processo di vari tipi di LED, inclusi LED blu e verde, LED UV e UV profondo LED ecc., adattato alle apparecchiature LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e così via.

Parti del reattore che possiamo realizzare:

Il rivestimento in carburo di silicio offre diversi vantaggi esclusivi:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametro del rivestimento in carburo di silicio di VeTek Semiconductor

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD
Proprietà	Valore tipico
Struttura cristallina	FCC fase β policristallina, prevalentemente orientata (111).
Densità del rivestimento SiC	3,21 g/cm³
Rivestimento SiCDurezza	Durezza 2500 Vickers (carico 500 g)
Granulometria	2~10μm
Purezza chimica	99,99995%
Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura di sublimazione	2700 ℃
Resistenza alla flessione	415 MPa RT a 4 punti
Modulo di Young	Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
Conducibilità termica	300W·m^-1·K^-1
Dilatazione termica (CTE)	4,5×10-6K^-1

STRUTTURA CRISTALLINA DEL FILM CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Suscettore Epi rivestito in carburo di silicio Supporto per wafer con rivestimento SiC Copertura satellitare rivestita in SiC per MOCVD Suscettore Epi wafer con rivestimento CVD SiC Elemento riscaldante con rivestimento CVD SiC Porta wafer satellitare Aixtron Ricevitore Epi con rivestimento SiC Parti in grafite a mezzaluna con rivestimento in SiC

View as

Veeco LED EP

Il suscettore EPI a LED VeeCO di Vetek Semiconductor è progettato per la crescita epitassiale di LED rossi e gialli. Materiali avanzati e tecnologia di rivestimento SIC CVD garantiscono la stabilità termica del suscettore, rendendo l'uniforme del campo di temperatura durante la crescita, riducendo i difetti di cristalli e migliorando la qualità e la coerenza dei wafer epitassiali. È compatibile con l'attrezzatura di crescita epitassiale di Veeco e può essere perfettamente integrato nella linea di produzione. Design preciso e prestazioni affidabili aiutano a migliorare l'efficienza e ridurre i costi. In attesa delle tue richieste.

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Anello di messa a fuoco CVD SIC

Vetek Semiconductor è uno dei principali produttori nazionali e fornitore di anelli di messa a fuoco SIC CVD, dedicati alla fornitura di soluzioni di prodotti ad alte prestazioni e ad alta affidabilità per l'industria dei semiconduttori. Gli anelli di messa a fuoco SIC CVD SIC di Vetek Semiconductor utilizzano la tecnologia avanzata di deposizione di vapore chimico (CVD), hanno un'eccellente resistenza ad alta temperatura, resistenza alla corrosione e conducibilità termica e sono ampiamente utilizzati nei processi di litografia a semiconduttore. Le tue richieste sono sempre benvenute.

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Componente del soffitto Aixtron G5+

Vetek Semiconductor è diventato un fornitore di materiali di consumo per molte apparecchiature MOCVD con le sue capacità di elaborazione superiori. Il componente del soffitto Aixtron G5+ è uno dei nostri ultimi prodotti, che è quasi lo stesso del componente Aixtron originale e ha ricevuto un buon feedback dai clienti. Se hai bisogno di tali prodotti, contatta Vetek Semiconductor!

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Suscitatore della canna di grafite rivestita di SIC

Suscettore a barilo di grafite con rivestimento a semiconduttore VETEK è un vassoio di wafer ad alte prestazioni progettato per i processi di epitassia a semiconduttore, che offre un'eccellente conduttività termica, ad alta temperatura e resistenza chimica, una superficie di alta purezza e opzioni personalizzabili per migliorare l'efficienza di produzione. Benvenuto la tua ulteriore richiesta.

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MOCVD Wafer epitassiale Fornire

Vetek Semiconductor è stato impegnato nel settore della crescita epitassiale a semiconduttore per lungo tempo e ha ricche capacità di esperienza e processo nei prodotti del suscitatore del wafer epitassiale MOCVD. Oggi, Vetek Semiconductor è diventato il principale produttore e fornitore di suscettori di wafer epitassiale MOCVD della Cina, e i suscettori del wafer che fornisce hanno svolto un ruolo importante nella produzione di wafer epitassiali GAN e altri prodotti.

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Anello rivestito di fornace verticale SIC

Forno verticale L'anello rivestito SIC è un componente appositamente progettato per la fornace verticale. Vetek Semiconductor può fare il meglio per te in termini di materiali e processi di produzione. Come produttore e fornitore leader dell'anello rivestito con fornace verticale SIC in Cina, Vetek Semiconductor è fiducioso che possiamo offrirti i migliori prodotti e servizi.

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Come produttore e fornitore professionista Rivestimento in carburo di silicio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Sia che tu abbia bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della propria regione o desideri acquistare avanzati e durevoli Rivestimento in carburo di silicio realizzati in Cina, puoi lasciarci un messaggio.

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