Rivestimento in carburo di silicio

VeTek Semiconductor è specializzata nella produzione di prodotti di rivestimento in carburo di silicio ultra puri, questi rivestimenti sono progettati per essere applicati a grafite purificata, ceramica e componenti metallici refrattari.

I nostri rivestimenti ad elevata purezza sono destinati principalmente all'uso nei settori dei semiconduttori e dell'elettronica. Fungono da strato protettivo per supporti wafer, suscettori ed elementi riscaldanti, proteggendoli dagli ambienti corrosivi e reattivi incontrati in processi come MOCVD ed EPI. Questi processi sono parte integrante della lavorazione dei wafer e della produzione dei dispositivi. Inoltre, i nostri rivestimenti sono particolarmente adatti per applicazioni in forni a vuoto e riscaldamento di campioni, dove si incontrano ambienti ad alto vuoto, reattivi e con ossigeno.

Noi di VeTek Semiconductor offriamo una soluzione completa con le nostre capacità avanzate di officina meccanica. Ciò ci consente di produrre i componenti di base utilizzando grafite, ceramica o metalli refrattari e di applicare internamente i rivestimenti ceramici SiC o TaC. Forniamo anche servizi di rivestimento per le parti fornite dai clienti, garantendo flessibilità per soddisfare le diverse esigenze.

I nostri prodotti di rivestimento in carburo di silicio sono ampiamente utilizzati nell'epitassia Si, epitassia SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo di incisione, processo di incisione ICP/PSS, processo di vari tipi di LED, inclusi LED blu e verde, LED UV e UV profondo LED ecc., adattato alle apparecchiature LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e così via.

Parti del reattore che possiamo realizzare:

Il rivestimento in carburo di silicio offre diversi vantaggi esclusivi:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametro del rivestimento in carburo di silicio di VeTek Semiconductor

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD
Proprietà	Valore tipico
Struttura cristallina	FCC fase β policristallina, prevalentemente orientata (111).
Densità del rivestimento SiC	3,21 g/cm³
Rivestimento SiCDurezza	Durezza 2500 Vickers (carico 500 g)
Granulometria	2~10μm
Purezza chimica	99,99995%
Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura di sublimazione	2700 ℃
Resistenza alla flessione	415 MPa RT a 4 punti
Modulo di Young	Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
Conducibilità termica	300W·m^-1·K^-1
Dilatazione termica (CTE)	4,5×10-6K^-1

STRUTTURA CRISTALLINA DEL FILM CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Suscettore Epi rivestito in carburo di silicio Supporto per wafer con rivestimento SiC Copertura satellitare rivestita in SiC per MOCVD Suscettore Epi wafer con rivestimento CVD SiC Elemento riscaldante con rivestimento CVD SiC Porta wafer satellitare Aixtron Ricevitore Epi con rivestimento SiC Parti in grafite a mezzaluna con rivestimento in SiC

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Undertaker epitassiale GAN

Come principale fornitore e produttore di suscettori epitassiali GAN in Cina, il suscettore epitassiale GAN VETEK a semiconduttore è un suscettore ad alta precisione progettato per il processo di crescita epitassiale GAN, utilizzato per supportare apparecchiature epitassiali come CVD e MOCVD. Nella produzione di dispositivi GAN (come dispositivi elettronici di potenza, dispositivi RF, LED, ecc.), Il susoce epitassiale GAN trasporta il substrato e raggiunge una deposizione di alta qualità di film sottili GAN in ambiente ad alta temperatura. Benvenuto la tua ulteriore richiesta.

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Supporto per wafer rivestito in SiC

In qualità di fornitore e produttore leader di supporti per wafer rivestiti in SiC in Cina, il supporto per wafer rivestito in SiC di VeTek Semiconductor è realizzato in grafite di alta qualità e rivestimento SiC CVD, che ha un'eccellente stabilità e può funzionare a lungo nella maggior parte dei reattori epitassiali. VeTek Semiconductor ha capacità di elaborazione leader del settore e può soddisfare le varie esigenze personalizzate dei clienti per i supporti per wafer rivestiti in SiC. VeTek Semiconductor non vede l'ora di stabilire un rapporto di cooperazione a lungo termine con voi e di crescere insieme.

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Riscaldatore MOCVD per rivestimento per rivestimento SIC

VeTeK Semiconductor produce riscaldatore MOCVD in grafite con rivestimento SiC, che è un componente chiave del processo MOCVD. Basata su un substrato di grafite di elevata purezza, la superficie è rivestita con un rivestimento SiC di elevata purezza per fornire un'eccellente stabilità alle alte temperature e resistenza alla corrosione. Con servizi di alta qualità e prodotti altamente personalizzati, il riscaldatore MOCVD in grafite con rivestimento SiC di VeTeK Semiconductor è la scelta ideale per garantire la stabilità del processo MOCVD e la qualità della deposizione di film sottile. VeTeK Semiconductor non vede l'ora di diventare il tuo partner.

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Suscettore Epi rivestito in carburo di silicio

Vetek Semiconductor è un produttore leader e fornitore di prodotti di rivestimento SIC in Cina. Il suscettore EPI rivestito in carburo di silicio di Vetek Semiconductor ha il livello di qualità superiore dell'industria, è adatto a più stili di forni di crescita epitassiale e fornisce servizi di prodotto altamente personalizzati. Vetek Semiconductor non vede l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina.

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SIC rivestimento monocristallino silicio vassoio epitassiale

Il rivestimento monocristallino del silicio SIC è un accessorio importante per la fornace di crescita epitassiale del silicio monocristallino, garantendo un inquinamento minimo e un ambiente di crescita epitassiale stabile. VETEK Semiconductor Il rivestimento del silicio monocristallino di Vetek Semiconductor ha una durata di un servizio ultra-lungo e offre una varietà di opzioni di personalizzazione. Vetek Semiconductor non vede l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina.

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Solid SIC Wafer Carrier

Il vettore di wafer SiC solido di VETEK Semiconductor è progettato per ambienti resistenti alla corrosione ad alte temperature e alla corrosione nei processi epitassiali a semiconduttore ed è adatto a tutti i tipi di processi di produzione di wafer con elevati requisiti di purezza. Vetek Semiconductor è un fornitore di vettori di wafer leader in Cina e non vede l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine nel settore dei semiconduttori.

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Come produttore e fornitore professionista Rivestimento in carburo di silicio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Sia che tu abbia bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della propria regione o desideri acquistare avanzati e durevoli Rivestimento in carburo di silicio realizzati in Cina, puoi lasciarci un messaggio.

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