Anello guida rivestimento TaC

VeTek Semiconductor è un anello guida professionale per rivestimento TaC, crogiolo per rivestimento TaC, produttore e fornitore di supporti per semi.

Rivestimento TaC Il crogiolo, il supporto del seme e l'anello guida del rivestimento TaC nel forno monocristallino SiC e AIN sono stati coltivati ​​con il metodo PVT.

Quando il metodo di trasporto del vapore fisico (PVT) viene utilizzato per preparare SIC, il cristallo di semi si trova nella regione di temperatura relativamente bassa e la materia prima SIC si trova nella regione di temperatura relativamente alta (sopra 2400 ℃). La decomposizione della materia prima produce Sixcy (principalmente tra cui Si, SIC₂, Si₂c, ecc.). Il materiale di fase vapore viene trasportato dalla regione ad alta temperatura al cristallo di semi nella regione a bassa temperatura e nuclea e cresce. Per formare un singolo cristallo. I materiali del campo termico utilizzato in questo processo, come il crogiolo, l'anello di guida a flusso, il supporto di cristalli di semi, dovrebbero essere resistenti alle alte temperature e non inquinano materie prime SIC e singoli cristalli SIC. Allo stesso modo, gli elementi di riscaldamento nella crescita dei singoli cristalli di ALN devono essere resistenti al vapore Al, alla corrosione N₂ e devono avere un'alta temperatura eutettica (e ALN) per abbreviare il periodo di preparazione del cristallo.

Si è scoperto che i materiali di campo termico a grafite con pipistrello TAC preparati erano più puliti, quasi nessun carbonio (ossigeno, azoto) e altre impurità, meno difetti del bordo, minore resistività in ciascuna regione e la densità del microporo e la densità di fossa di attacco erano Significativamente ridotto (dopo l'attacco KOH) e la qualità del cristallo è stata notevolmente migliorata. Inoltre, il tasso di perdita di peso del Crucible TAC è quasi zero, l'aspetto non è distruttivo, può essere riciclato (vita fino a 200 ore), può migliorare la sostenibilità e l'efficienza di tale preparazione a singolo cristallo.

Parametro del prodotto dell'anello guida del rivestimento TaC:

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