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Anello di guida rivestita tac
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Anello di guida rivestita tac

L'anello di guida rivestito TAC è realizzato in grafite di alta qualità e rivestimento TAC. Nella preparazione di cristalli SIC mediante metodo PVT, l'anello guida TAC di Vetek Semiconductor viene utilizzato principalmente per guidare e controllare il flusso d'aria, ottimizzare il processo di crescita dei cristalli singolo e migliorare la resa a cristallo singolo. Con un'eccellente tecnologia di rivestimento TAC, i nostri prodotti hanno un'eccellente resistenza ad alta temperatura, resistenza alla corrosione e buone proprietà meccaniche.


L'anello guida rivestito TAC di alta qualità è offerto dal produttore cinese Vetek Semiconductor. Acquista l'anello di guida rivestito TAC che è di alta qualità direttamente a basso prezzo.


Oltre alRivestimento CVD TAC, abbiamo anche collaborato con un'azienda giapponese per sviluppare rivestimenti a spruzzo a base d'acqua e la tecnologia di rivestimento TAC di questo metodo ha dimostrato prestazioni eccellenti, tra cui una resistenza alla temperatura superiore a 2500 ° C e resistenza ai gas corrosivi. Lo spessore del rivestimento può essere regolato variabilmente nell'intervallo da 20 µm a 200 µm, garantendo una protezione efficace durante i processi lunghi e cicli elevati. Eccezionale flessibilità nella gestione di componenti rivestiti di diverse dimensioni e geometria. A differenza dei TAC di deposizione di CVD, questo metodo supporta la ristrutturazione di rivestimenti e componenti parziali rimanendo rispettosi dell'ambiente. A causa dell'interblocco con la grafite porosa sottostante, i nostri rivestimenti TAC hanno un'eccellente stabilità meccanica, verificata da test di scratch. Il rivestimento non provoca contaminazione e il wafer SIC trattato è privo di contaminazione superficiale.


Performance e caratteristiche di Guida rivestita con rivestimento TAC Veteksemicon:

● Resistenza ad alta temperatura, alta densità e alta compattezza; Eccellente resistenza alla corrosione.

● Elevata purezza con contenuto di impurità <5ppm.

● chimicamente inerte in ammoniaca e idrogeno a temperature elevate; Eccellente stabilità termica.


Performance e caratteristiche di Guida rivestita con rivestimento TAC Veteksemicon:

● Cressione cristallina.

● Reattori epitassiali in carburo di silicio.

● Blade a turbina a gas.

● Ugelli ad alta temperatura e resistenti all'ossidazione.


Descrizione del prodotto:

Rivestimento TACè un materiale ad alta temperatura di prossima generazione che presenta una stabilità termica superiore rispetto a SIC. Serve come rivestimento resistente alla corrosione, resistente all'ossidazione e resistente all'usura, in grado di resistere a ambienti superiori a 2000 ° C. Ampiamente utilizzato nell'aerospaziale per i componenti ultra-ad alta temperatura, nonché nella crescita a singolo cristallo a semiconduttore di terza generazione e in altri campi.


SiC CRYSTAL GROWTH FURNACE


Metodo PVT Crescita del cristallo SiC

PVT method SiC Crystal Growth


Parametro del prodotto dell'anello guida rivestito TAC

Proprietà fisiche del rivestimento in carburo di Tantalum
Densità 14.3 (g/cm³)
Emissività specifica 0.3
Coefficiente di espansione termica 6.3 10-6/K
Durezza (HK) 2000 HK
Resistenza 1 × 10-5Ohm*cm
Stabilità termica <2500 ℃
La dimensione della grafite cambia -10 ~ -20um
Spessore del rivestimento ≥20um Valore tipico (35um ± 10um)


Confronta il negozio di produzione di semiconduttori :

VeTek Semiconductor Production Shop


Panoramica della catena dell'industria dell'epitassia del chip a semiconduttore:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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