Prodotti
Barca al quarzo ad alta purezza
  • Barca al quarzo ad alta purezzaBarca al quarzo ad alta purezza

Barca al quarzo ad alta purezza

La nostra barca al quarzo ad alta purezza è realizzata in quarzo fuso (contenuto di siO₂ ≥ 99,99%). Con la sua eccellente resistenza ad ambienti estremi, un coefficiente di espansione termica a bassa e ciclo a lungo vita, è diventato una chiave insostituibile consumabile nel semiconduttore e nelle nuove industrie energetiche.


Le barche al quarzo ad alta purezza sono vettori di precisione realizzati con materiali al quarzo a puro altissimi (contenuto di SIO₂ ≥ 99,99%), progettati per processi ad alta temperatura e ad alta pulizia. Questo dispositivo è essenziale per processi come ricottura, diffusione, ossidazione e deposizione di vapore chimico (CVD) ed è ampiamente utilizzato in semiconduttori, fotovoltaici e altri campi. Il suo vantaggio fondamentale risiede nella stabilità fisica e chimica del materiale stesso.


Ⅰ. Eccellenti proprietà fisiche della barca al quarzo di veteksemicon ad alta purezza


Caratteristiche
Parametri/prestazioni specifici
Purezza
Contenuto di siO₂ ≥99,99% (grado 4N), impurità metalliche (come Na, K, Fe) ≤10 ppm, per evitare la contaminazione di ambienti di processo sensibili.
Resistenza ad alta temperatura

Punto di ammorbidimento: ≥1660 ° C (tolleranza a breve termine 1700 ° C); 

Temperatura di uso continuo:1200 ° C (stabilità a lungo termine senza deformazione)

Coefficiente di espansione termica
0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), vicino all'espansione zero, eccellente resistenza agli shock termici.
Stabilità chimica
Resistente agli acidi forti (tranne HF), alcali forti (a temperatura ambiente) e resistenti ai gas corrosivi come H₂ e Cl₂ ad alte temperature.
Proprietà ottiche
Trasmittanza UV-IR ≥90% (200 ~ 2500 nm), adatto per i requisiti trasparenti del vettore nei processi litografici e laser.
Resistenza meccanica

Resistenza a compressione: ≥1200 MPa

Durezza superficiale (MOHS): 7 (più alto del vetro ordinario)

Finitura superficiale
Ra≤0,2 μm, riducendo la contaminazione delle particelle e miglioramento della resa del wafer.


Ⅱ. Usi principali e vantaggi del prodotto corrispondenti della barca al quarzo ad alta purezza


1. Produzione di semiconduttori:


Usi specifici: Strumenti portanti nei processi di diffusione, ossidazione, ricottura e CVD (deposizione di vapore chimica) ad alta temperatura ad alta temperatura.


Vantaggi del prodotto:

Inquinamento ultra-basso: Le barche di wafer puro di Veteksemicon 99,99% evitano la contaminazione da ioni metallici e assicurano le prestazioni elettriche del chip.

Dimensioni precise: La planarità della barca del wafer al quarzo è ± 0,05 mm, garantendo il riscaldamento uniforme del wafer (come una barca da wafer da 12 pollici).

Lunga vita: Secondo i dati di produzione effettivi che abbiamo registrato, le barche del wafer al quarzo che produciamo possono essere utilizzate continuamente per più di 1000 ore a 1200 ° C, riducendo notevolmente la frequenza di sostituzione (rispetto alle normali barche al quarzo, la vita è aumentata di 3 volte).


2. Industria fotovoltaica


Usi specifici: Nel campo della produzione dell'industria fotovoltaica, le barche al quarzo ad alta purezza vengono generalmente utilizzate per i wafer di silicio nella diffusione del fosforo delle cellule Perc e nel processo di diffusione del boro delle cellule TopCon.


Vantaggi delle prestazioni:

Design ad alto carico: La singola barca che produciamo può trasportare 200 ~ 300 wafer di silicio (spessore 160 ~ 180 μm), migliorando notevolmente la capacità di produzione del wafer per unità di tempo.

Rapido aumento e caduta della temperatura: Coefficiente di espansione termica ultra bassa (0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), vicino all'espansione zero) supporta una riduzione del 10% ~ 15% nel ciclo di processo.

Effetto anti-Pid: Nessuna precipitazione ionica di sodio durante il processo di carico del wafer di silicio riduce il rischio di degradazione indotta da foto.


Ⅲ. Specifiche di imballaggio della barca al quarzo


Le barche Veteksemicon Quartz utilizzeranno l'imballaggio denso multistrato per garantire l'integrità del prodotto durante lo stoccaggio e il trasporto.


Allo stesso tempo, VetekseminCon supporta la progettazione di processi estesi personalizzati, come dimensioni non standard (errore ± 0,1 mm), progettazione di impilazioni a più livelli (fino a 5 strati) e rivestimento per film ad alta temperatura (come rivestimento SIC). Benvenuti alla tua ulteriore consultazione.


Tag caldi: Barca al quarzo ad alta purezza
Invia richiesta
Informazioni di contatto
Per domande sul rivestimento in carburo di silicio, rivestimento in carburo di tantalio, grafite speciale o listino prezzi, lasciaci la tua e-mail e ti contatteremo entro 24 ore.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept