Quarzo ad alta purezza crogiolo

Il crogiolo di quarzo ad alta purezza fornito dalla piattaforma Veteksemicon è realizzato con quarzo fuso sintetico a scarsa purezza. Il contenuto di SIO2 nelle materie prime al quarzo selezionato di solito può raggiungere il 99,998% o persino superiore (4N8). Attraverso processi avanzati di fusione e stampaggio, il contenuto di impurità è ridotto al minimo, in particolare gli ioni metallici (come Na, K, Li, Fe, Al, CA, ecc.) E il contenuto di idrossile che sono dannosi per i processi a semiconduttore.

Questo crogiolo di quarzo è progettato per il funzionamento in ambienti ad alta temperatura per garantire una bassa contaminazione, alta resistenza e buona compatibilità con crescita cristallina e lavorazione del wafer.

Ⅰ. Principali applicazioni nei processi di produzione di semiconduttori

I crogioli al quarzo ad alta purezza svolgono un ruolo vitale in molti processi chiave di produzione di semiconduttori con le loro proprietà fisiche uniche:

1. Crescita del silicio a cristallo singolo (processo Czochralski - CZ)

Utilizzo: Nel processo di crescita del silicio a cristallo singolo mediante il metodo Czochralski, i crogioli al quarzo ad alta purezza sono i principali contenitori per il silicio fuso. La qualità e la purezza delle aste di silicio sono direttamente influenzate dal materiale crogiolo.

Eccellenti proprietà fisiche:

● Purività ultra-alta: realizzata in materiale in quarzo ad alta purezza, garantisce precipitazioni estremamente a bassa impurità ed evita la contaminazione del silicio a cristallo singolo, che è cruciale per la produzione di dispositivi a semiconduttore altamente integrati e ad alte prestazioni. Impurità come i metalli alcali e i metalli pesanti possono diventare trappole portanti o centri di scattering, influenzando seriamente le proprietà elettriche del dispositivo.

● Eccellente resistenza ad alta temperatura: il materiale al quarzo ha un punto di fusione elevato (circa 1700 ∘c), può resistere alla temperatura estremamente elevata del silicio fuso (circa 1420 ∘c) e funzionare stabilmente per lungo tempo senza deformazione o ammorbidimento.

● Buona stabilità termica: ad alte temperature, il coefficiente di espansione termica è estremamente basso, il che può resistere efficacemente allo stress termico ed evitare le crepe durante il riscaldamento e il raffreddamento, garantendo così la stabilità e la sicurezza del processo.

● Inertezza chimica: ha una buona inerzia chimica al silicio fuso, non è facile reagire con il silicio, riduce l'introduzione delle impurità e la carbonizzazione del silicio e garantisce la purezza dei cristalli di silicio.

2. Casting di lingotto di silicio policristallino

Applicazione: Nel processo di fusione del silicio in silicio policristallino, i crogioli al quarzo ad alta purezza sono usati come contenitori per il silicio policristallino fuso per lanciare lingotti di silicio policristallino di gradi fotovoltaici o elettronici.

Eccellenti proprietà fisiche:

● Resistenza alle shock termiche: può mantenere l'integrità strutturale anche nei rapidi cicli di riscaldamento e raffreddamento per evitare il crack causato da improvvise variazioni di temperatura.

● Stabilità dimensionale: il controllo dimensionale accurato e la stabilità della forma sono essenziali per la fusione di lingotti di silicio policristallino che soddisfano i requisiti di specifica.

3. Altre applicazioni ad alta temperatura

Usi: Nella produzione di semiconduttori, molti processi di tubi del forno ad alta temperatura, come diffusione, ossidazione, ricottura, ecc., Utilizzano spesso contenitori di quarzo come rivestimenti o vettori per mantenere l'ambiente di processo pulito e stabile.

Ⅱ. Vantaggi del quarzo Crucible di quarzo ad alta purezza di Veteksemicon

Veteksemicon si impegna a fornire prodotti di alta qualità e ad alte prestazioni per l'industria dei semiconduttori. I nostri crogioli al quarzo ad alta purezza hanno i seguenti vantaggi:

● Garanzia di purezza ultra-alta: Controllo rigoroso delle materie prime e dei processi di produzione per garantire che il prodotto raggiunga la purezza ultra-alta di livello semiconduttore e minimizzi il rischio di contaminazione del processo.

● Ottima durata: Eccellente stabilità termica e resistenza meccanica, estendendo la vita del prodotto e riducendo i costi di produzione.

● Servizio personalizzato: Soluzioni crogioli personalizzate di diverse dimensioni, forme e specifiche possono essere fornite in base alle esigenze specifiche del processo.

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