MOCVD Wafer epitassiale Fornire

Il suscettore del wafer epitassiale MOCVD è un suscettore di wafer epitassiale ad alte prestazioni progettato per l'attrezzatura MOCVD (deposizione di vapore chimico-metallo-organico). Il suscettore è realizzato in materiale di grafite SGL e rivestito con rivestimento in carburo di silicio, che combina l'elevata conduttività termica della grafite con l'eccellente resistenza di alta temperatura e corrosione di SIC ed è adatto al duro ambiente operativo di alta temperatura, alta pressione e gas corrosivo durante la crescita epitassiale dei semiconduttori.

Il materiale di grafite SGL ha un'eccellente conduttività termica, che garantisce che la temperatura del wafer epitassiale sia distribuita uniformemente durante il processo di crescita e migliora la qualità dello strato epitassiale. Il rivestimento SIC rivestito consente al suscettore di resistere a temperature elevate di oltre 1600 ℃ e adattarsi all'ambiente termico estremo nel processo MOCVD. Inoltre, il rivestimento SIC può resistere efficacemente a gas di reazione ad alta temperatura e corrosione chimica, estendere la durata del suscettore e ridurre l'inquinamento.

Il suscettore del wafer epitassiale MOCVD di Veteksemi può essere utilizzato in sostituzione degli accessori di fornitori di apparecchiature MOCVD come Aixtron.

● Dimensione: Può essere personalizzato in base alle esigenze dei clienti (dimensioni standard disponibili).

● Capacità di trasporto: Può trasportare multipli o anche più di 50 wafer epitassiali alla volta (a seconda della dimensione del suscettore).

● Trattamento superficiale: Rivestimento SIC, resistenza alla corrosione, resistenza all'ossidazione.

● Industria dei semiconduttori: Utilizzato per la crescita di wafer epitassiali come LED, diodi laser e semiconduttori di potenza.

● Industria optoelettronica: Supporta la crescita epitassiale di dispositivi optoelettronici di alta qualità.

● Ricerca e sviluppo di materiali di fascia alta: Applicato alla preparazione epitassiale di nuovi semiconduttori e materiali optoelettronici.

A seconda del tipo di attrezzatura MOCVD del cliente e delle esigenze di produzione, Vetek Semiconductor fornisce servizi personalizzati, tra cui le dimensioni del suscettore, il materiale, il trattamento di superficie, ecc., Per garantire che la soluzione più adatta sia fornita ai clienti.

Struttura cristallina del film Sic CVD

Proprietà fisiche di base del rivestimento SIC CVD

Semiconduttore Negozi di suscettori del wafer epitassiale MOCVD