Fornace di ossidazione e diffusione

● Resistenza ad alta temperatura (fino a 1600 ℃)

● Eccellente conducibilità termica e stabilità termica

● Buona resistenza alla corrosione chimica

● basso coefficiente di espansione termica

● Alta resistenza e durezza

● Lunga durata di servizio

Nei forni di ossidazione e diffusione, a causa della presenza di gas ad alta temperatura e di gas corrosivi, molti componenti richiedono l'uso di materiali ad alta temperatura e resistenti alla corrosione, tra cui il carburo di silicio (SIC) è una scelta comunemente usata. I seguenti sono componenti comuni in carburo di silicio presenti nei forni di ossidazione e nei forni di diffusione:

● Boat wafer

La barca da wafer in carburo di silicio è un contenitore usato per trasportare wafer di silicio, che può resistere a temperature elevate e non reagiranno con wafer di silicio.

● Tubo del forno

Il tubo del forno è il componente centrale del forno di diffusione, utilizzato per ospitare wafer di silicio e controllare l'ambiente di reazione. Le provette da forno in carburo di silicio hanno eccellenti prestazioni di resistenza ad alta temperatura e di corrosione.

● Piatta per deflettore

Utilizzato per regolare il flusso d'aria e la distribuzione della temperatura all'interno del forno

● Tubo di protezione della termocoppia

Utilizzato per proteggere le termocoppie di misurazione della temperatura dal contatto diretto con gas corrosivi.

● Paggine a sbalzo

Le pagaie a sbalzo in carburo di silicio sono resistenti alle alte temperature e alla corrosione e vengono utilizzate per trasportare barche di silicio o barche di quarzo che trasportano wafer di silicio nei tubi del forno di diffusione.

● Iniettore a gas

Utilizzato per introdurre gas di reazione nel forno, deve essere resistente ad alta temperatura e corrosione.

● Carriera da barca

Il vettore di barche per wafer in carburo di silicio viene utilizzato per fissare e supportare i wafer di silicio, che presentano vantaggi come alta resistenza, resistenza alla corrosione e buona stabilità strutturale.

● Porta della fornace

I rivestimenti o i componenti in carburo di silicio possono anche essere utilizzati all'interno della porta della fornace.

● Elemento di riscaldamento

Gli elementi di riscaldamento in carburo di silicio sono adatti a temperature elevate, elevata potenza e possono aumentare rapidamente le temperature a oltre 1000 ℃.

● Liner SIC

Utilizzato per proteggere la parete interna dei tubi del forno, può aiutare a ridurre la perdita di energia termica e resistere a ambienti duri come alta temperatura e alta pressione.