SIC Cantilever Paddles

Ⅰ.Product Panoramica dell'utilizzo

Le pagaie SIC a sballo sono utilizzate principalmente nelle apparecchiature di produzione di semiconduttori come supporto per il wafer e componenti di trasmissione. La sua funzione di base è quella di elaborare stabilmente e accuratamente i wafer di silicio in condizioni di processo estremi come alta temperatura e alta corrosione, garantendo un processo di produzione regolare ed efficiente.

Ⅱ.Advantages e caratteristiche dei materiali SIC

SIC è un materiale ceramico avanzato le cui eccellenti proprietà fisiche danno un vantaggio senza pari nel campo dei semiconduttori. Di seguito sono riportati i parametri fisici chiave relativi alle palette SIC a sballo:

● elevata purezza: L'uso di materiale SIC ad alta purezza può ridurre al minimo la contaminazione del processo e migliorare la resa del prodotto.

● Eccellente resistenza ad alta temperatura: SIC ha un punto di fusione fino a 2830 ° C, che gli consente di mantenere l'integrità strutturale in ambienti di temperatura estrema come l'attacco al plasma e la ricottura ad alta temperatura e la temperatura operativa a lungo termine può raggiungere più di 1000 ° C.

● Elevata durezza e resistenza all'usura: La durezza MOHS è 9-9,5, seconda solo a Diamond, dando un'eccellente resistenza all'usura delle pagaie SIC e mantenendo la stabilità dimensionale durante la trasmissione del wafer ad alta frequenza.

● Eccellente conducibilità termica: La conduttività termica della ceramica SIC è alta fino a 120-250 W/(m · k) (valore tipico), che può dissipare rapidamente il calore ed evitare il surriscaldamento locale che può danneggiare il wafer.

● Coefficiente di espansione termica bassa: Il coefficiente di espansione termica bassa (circa 4,0 × 10⁻⁶ /k) garantisce stabilità dimensionale quando la temperatura cambia, evita lo stress causato dall'espansione termica e dalla contrazione, e quindi riduce il rischio di danni al wafer.

Ⅲ. Scenari di applicazione delle palette Sic a sballo

Le proprietà uniche delle palette SIC a sballo consentono loro di svolgere un ruolo chiave in più collegamenti di produzione di semiconduttori:

● Equipaggiamento per l'attacco al plasma: Nella camera del plasma di incisione, le pagaie SIC a sbalzo fungono da supporti di wafer, che possono resistere al bombardamento al plasma e all'erosione corrosiva del gas mantenendo la stabilità dimensionale, garantendo l'accuratezza dell'incisione e la durata della vita delle attrezzature.

● Equipaggiamento di deposizione di film sottile (CVD/PVD): Nel processo di deposizione di vapore chimico (CVD) e deposizione di vapore fisico (PVD), le pagaie SIC a sballo sono usate per supportare i wafer. La loro eccellente resistenza ad alta temperatura e conducibilità termica aiutano a riscaldare uniformemente i wafer e prevenire la contaminazione da particelle generate durante il processo di deposizione di film sottile.

● Sistema di trasferimento di wafer: Nel sistema di trasferimento del wafer automatizzato, le pagaie SIC a sballo possono resistere al movimento meccanico ad alta frequenza a causa della loro elevata durezza e resistenza all'usura, garantendo un trasferimento accurato e rapido di wafer tra diverse camere di processo, riducendo il rischio di danni al wafer e contaminazione.

● Processo di ricottura ad alta temperatura: Nel forno di ricottura ad alta temperatura, le pagaie SIC a sballo possono resistere agli ambienti di temperatura ultra alta, fornire un supporto stabile ai wafer e garantire l'uniformità e l'efficacia del processo di ricottura.

Veteksemicon è ben consapevole dei rigorosi requisiti dei processi di semiconduttore per la qualità del prodotto. Pertanto, supportiamo i servizi personalizzati e possiamo fornire progettazione e produzione personalizzate a paddle a sbalzo SiC in base ai requisiti specifici delle attrezzature e del processo. E controlleremo anche un rigoroso controllo di qualità per garantire che ogni prodotto sottoponga a rigorose ispezioni di qualità per garantire che soddisfi i più alti standard del settore.

Ancora più importante, il team tecnico di Vetek Semiconductor ti fornirà una consulenza tecnica completa e soluzioni di prodotto. Scegliere il nostro paddle SIC cantilever significa scegliere una maggiore efficienza di produzione, una durata più lunga delle attrezzature e una migliore resa del prodotto. In attesa della tua ulteriore consultazione.