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Barca da wafer in carburo di silicio rivestito
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Barca da wafer in carburo di silicio rivestito

La barca da wafer in carburo di silicio con rivestimento SIC è progettata con 165 slot per trasportare wafer.vetek Semiconductor è produttore e fornitore professionista in Cina per la barca da wafer in carburo di silicio con rivestimento SIC, con anni di esperienza in R&S e produzione, può controllare il pozzo e offrire un pozzo di qualità prezzo. Benvenuto per aver visitato la nostra fabbrica e avere ulteriori discussioni sulla cooperazione.

Vetek Semiconductor è il produttore e il fornitore di China che produce principalmente barca da wafer in carburo di silicio con rivestimento SIC con molti anni di esperienza. Spero di costruire relazioni commerciali con te. La barca di wafer in carburo di silicio ricoperto di SIC viene utilizzata in fornaci di diffusione a semiconduttore per trasportare i wafer per vari processi ad alta temperatura come impianto ionico, diffusione e ricottura. Può fornire un ambiente stabile per i wafer, garantendo l'uniformità della temperatura e la coerenza durante l'elaborazione.

Le imbarcazioni wafer in carburo di silicio rivestite in SiC hanno una maggiore resistenza al calore e stabilità chimica, consentendo loro di funzionare a temperature più elevate e garantire una durata di vita più lunga. Inoltre, hanno tassi di evaporazione del materiale e tassi di adsorbimento del gas inferiori, contribuendo a ridurre l'impatto delle impurità sulla lavorazione dei wafer.

Possiamo produrre diversi tipi di barca da wafer in carburo di silicio come barca di wafer orizzontale, barca di wafer verticale e qualsiasi altra barca personalizzata.


Vantaggi del nostro carburo di silicio ad elevata purezza:

1.Stabilità alle alte temperature

2. Inertezza cremica

3. Basso contenuto di impurità

4. Conducibilità termica


Proprietà fisiche del carburo di silicio ricristallizzato

Proprietà fisiche del carburo di silicio ricristallizzato
Proprietà Valore tipico
Temperatura di lavoro (°C) 1600°C (con ossigeno), 1700°C (ambiente riducente)
Contenuto di SiC > 99,96%
Contenuti Si gratuiti <0,1%
Densità apparente 2,60-2,70 g/cm3
Porosità apparente < 16%
Resistenza di compressione > 600 MPA
Resistenza alla flessione a freddo 80-90MPa (20°C)
Resistenza alla flessione a caldo 90-100 MPa (1400 ° C)
Dilatazione termica @1500°C 4,70x10-6/° C.
Conducibilità termica @1200°C 23 w/m • k
Modulo elastico 240 GPA
Resistenza agli shock termici Estremamente buono


Confronta il negozio di produzione di semiconduttori :

VeTek Semiconductor Production Shop


Tag caldi: Barca per wafer in carburo di silicio rivestita in SiC
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