Quanto sai di CVD SIC? - VETEK Semiconductor

CVDSIC(Deposizione di vapore chimico in carburo di silicio) è un materiale in carburo di silicio ad alta purezza prodotto dalla deposizione di vapore chimico. Viene utilizzato principalmente per vari componenti e rivestimenti nelle apparecchiature di elaborazione dei semiconduttori. CVDMateriale sicHa un'eccellente stabilità termica, un'elevata durezza, una bassa coefficiente di espansione termica e un'eccellente resistenza alla corrosione chimica, rendendolo un materiale ideale per l'uso in condizioni di processo estremo.

Il materiale SIC CVD è ampiamente utilizzato nei componenti che coinvolgono ad alta temperatura, ambiente altamente corrosivo e elevata sollecitazione meccanica nel processo di produzione dei semiconduttori.

CVDSICComponentiPrincipalmente includendo i seguenti prodotti

● Rivestimento CVD SIC

Viene utilizzato come strato protettivo per le apparecchiature di elaborazione dei semiconduttori per impedire che il substrato sia danneggiato da alta temperatura, corrosione chimica e usura meccanica.

● Barca del wafer sic

Viene utilizzato per trasportare e trasportare wafer in processi ad alta temperatura (come la diffusione e la crescita epitassiale) per garantire la stabilità dei wafer e l'uniformità dei processi.

● Tubo di processo SIC

I tubi di processo SIC sono utilizzati principalmente in forni di diffusione e forni di ossidazione per fornire un ambiente di reazione controllato per i wafer di silicio, garantendo una deposizione precisa del materiale e una distribuzione uniforme del doping.

● SIC cantilever paddle

La paletta SIC a sballo viene utilizzata principalmente per trasportare o supportare wafer di silicio in forni di diffusione e forni di ossidazione, svolgendo un ruolo cuscinetto. Soprattutto in processi ad alta temperatura come diffusione, ossidazione, ricottura, ecc. Garantisce la stabilità e il trattamento uniforme dei wafer di silicio in ambienti estremi.

● CVDSIC DOOCH GETH

Viene utilizzato come componente di distribuzione del gas nelle apparecchiature di attacco al plasma, con eccellente resistenza alla corrosione e stabilità termica per garantire la distribuzione uniforme del gas e l'effetto di attacco.

● Soffitto rivestito di sic

I componenti nella camera di reazione dell'attrezzatura, utilizzati per proteggere l'attrezzatura dai danni a temperatura elevata e gas corrosivi ed estendere la durata dell'attrezzatura.

● Suscettori di epitassia al silicio

I portatori di wafer utilizzati nei processi di crescita epitassiale al silicio per garantire il riscaldamento uniforme e la qualità della deposizione dei wafer.

Il carburo di silicio depositato a vapore chimico (CVD SIC) ha una vasta gamma di applicazioni nella lavorazione dei semiconduttori, utilizzate principalmente per produrre dispositivi e componenti resistenti alle alte temperature, alla corrosione e all'elevata durezza. 

CVDSICIl ruolo principale si riflette nei seguenti aspetti

✔ Rivestimenti protettivi in ​​ambienti ad alta temperatura

Funzione: CVD SIC viene spesso utilizzato per i rivestimenti di superficie di componenti chiave nelle apparecchiature a semiconduttore (come sucettori, fodere per camera di reazione, ecc.). Questi componenti devono funzionare in ambienti ad alta temperatura e i rivestimenti SIC CVD possono fornire un'eccellente stabilità termica per proteggere il substrato da danni ad alta temperatura.

Vantaggi: L'elevato punto di fusione e l'eccellente conduttività termica del SIC CVD assicurano che i componenti possano funzionare stabilmente per molto tempo a condizioni ad alta temperatura, estendendo la durata dell'attrezzatura.

✔ Applicazioni anticorrosivi

Funzione: Nel processo di produzione dei semiconduttori, il rivestimento SIC CVD può resistere efficacemente all'erosione di gas e sostanze chimiche corrosive e proteggere l'integrità di attrezzature e dispositivi. Ciò è particolarmente importante per la gestione di gas altamente corrosivi come fluoruri e cloruri.

Vantaggi: Depositando il rivestimento CVD SIC sulla superficie del componente, i danni alle attrezzature e i costi di manutenzione causati dalla corrosione possono essere notevolmente ridotti e l'efficienza di produzione può essere migliorata.

✔ Applicazioni resistenti ad alta resistenza e usura

Funzione: Il materiale SIC CVD è noto per la sua alta durezza e l'elevata resistenza meccanica. È ampiamente utilizzato nei componenti a semiconduttore che richiedono resistenza all'usura e alta precisione, come guarnizioni meccaniche, componenti con carico, ecc. Questi componenti sono soggetti a forti sollecitazioni meccaniche e attrito durante il funzionamento. CVD SIC può resistere efficacemente a queste sollecitazioni e garantire la lunga durata e le prestazioni stabili del dispositivo.

Vantaggi: I componenti realizzati in CVD SIC possono non solo resistere allo stress meccanico in ambienti estremi, ma anche mantenere la loro stabilità dimensionale e la finitura superficiale dopo un uso a lungo termine.

Allo stesso tempo, CVD SIC svolge un ruolo vitale inCrescita epitassiale a LED, Semiconduttori di potenza e altri campi. Nel processo di produzione dei semiconduttori, i substrati SIC CVD vengono generalmente utilizzati comeSuscettori EPI. La loro eccellente conduttività termica e stabilità chimica fanno sì che gli strati epitassiali coltivati ​​abbiano una qualità e una consistenza più elevate. Inoltre, anche CVD SIC è ampiamente utilizzato inPSS ATTENDING CORRIERS, Vettori di wafer RTP, Vettori di incisione ICP, ecc., Fornire supporto stabile e affidabile durante l'attacco a semiconduttore per garantire le prestazioni del dispositivo.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd è un fornitore leader di materiali di rivestimento avanzato per l'industria dei semiconduttori. La nostra azienda si concentra sulle soluzioni in via di sviluppo per l'industria.

Le nostre principali offerte di prodotti includono rivestimenti in carburo di silicio CVD (SIC), rivestimenti in carburo di Tantalum (TAC), SIC alla rinfusa, polveri SIC e materiali SIC ad alta purezza, il suscettore di grafite con rivestimento SIC, le esigenze dei clienti possono soddisfare le esigenze dei clienti.

Vetek Semiconductor si concentra sullo sviluppo di soluzioni di tecnologia e sviluppo del prodotto all'avanguardia per l'industria dei semiconduttori.Speriamo sinceramente di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina.