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Carburo di silicio solido

Il carburo di silicio solido a semiconduttore Vetek è un importante componente ceramico nell'apparecchiatura di attacco al plasma, carburo di silicio solido (Carburo di silicio CVD) Le parti nell'attrezzatura di incisione includonoFocusing Anelli, testa di doccia a gas, vassoio, anelli per bordi, ecc. A causa della bassa reattività e della conduttività del carburo di silicio solido (carburo di silicio CVD) a cloro e gas contenenti fluoro, è un materiale ideale per le attrezzature per incisioni al plasma che focalivano gli anelli e altri componenti.


Ad esempio, l'anello di messa a fuoco è una parte importante posizionata al di fuori del wafer e in contatto diretto con il wafer, applicando una tensione sull'anello per focalizzare il plasma che passa attraverso l'anello, focalizzando così il plasma sul wafer per migliorare l'uniformità dell'elaborazione. L'anello di messa a fuoco tradizionale è realizzato in silicio oquarzo, silicio conduttivo come materiale di anello di messa a fuoco comune, è quasi vicino alla conduttività dei wafer di silicio, ma la carenza è una scarsa resistenza all'incisione nel plasma contenente fluoro, i materiali delle parti della macchina ad incisione spesso usate per un periodo di tempo, ci saranno gravi fenomeni di corrosione, riducendo seriamente la sua efficienza di produzione.


Sanello di messa a fuoco olid sicPrincipio di lavoro

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Confronto tra anello di messa a fuoco basato su SI e anello di messa a fuoco CVD SIC :

Confronto tra anello di messa a fuoco basato su SI e anello di messa a fuoco CVD SIC
Articolo E CVD SIC
Densità (g/cm3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
Conducibilità termica (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (X10-6/℃) 2.6 4
Modulo elastico (GPA) 150 440
Durezza (GPA) 11.4 24.5
Resistenza all'usura e alla corrosione Povero Eccellente


Vetek Semiconductor offre parti avanzate in carburo di silicio solido (carburo di silicio CVD) come anelli di messa a fuoco SIC per apparecchiature a semiconduttore. I nostri anelli di messa a fuoco in carburo di silicio solido superano il silicio tradizionale in termini di resistenza meccanica, resistenza chimica, conducibilità termica, durata ad alta temperatura e resistenza all'attacco ionico.


Le caratteristiche chiave dei nostri anelli di messa a fuoco SiC includono:

Alta densità per tassi di incisione ridotti.

Ottimo isolamento con un gap di banda alto.

Alta conduttività termica e basso coefficiente di espansione termica.

Resistenza all'impatto meccanico superiore ed elasticità.

Elevata durezza, resistenza all'usura e resistenza alla corrosione.

Fabbricato usandoDeposizione di vapore chimico potenziata dal plasma (PECVD)Tecniche, i nostri anelli di messa a fuoco SiC soddisfano le crescenti esigenze dei processi di incisione nella produzione di semiconduttori. Sono progettati per resistere a una potenza e energia plasmatica più elevate, in particolarePlasma accoppiato capacitivamente (CCP)sistemi.

Gli anelli di messa a fuoco SiC di Vetek Semiconductor offrono prestazioni e affidabilità eccezionali nella produzione di dispositivi a semiconduttore. Scegli i nostri componenti SIC per una qualità ed efficienza superiori.


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Soffione in carburo di silicio

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La doccia in carburo di silicio ha un'eccellente tolleranza ad alta temperatura, stabilità chimica, conducibilità termica e buone prestazioni di distribuzione del gas, che possono ottenere una distribuzione uniforme del gas e migliorare la qualità del film. Pertanto, viene solitamente utilizzato in processi ad alta temperatura come i processi di deposizione di vapore di vapore chimico (CVD) o di deposizione di vapore fisico (PVD). Accolgo con favore la tua ulteriore consultazione per noi, Vetek Semiconductor.
Anello di tenuta in carburo di silicio

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Come produttore di prodotti e fabbrica di prodotti di tenuta in carburo di silicio professionale in Cina, l'anello di tenuta in carburo di silicio a semiconduttore Vetek è ampiamente utilizzato nelle apparecchiature di lavorazione dei semiconduttori a causa della sua eccellente resistenza al calore, resistenza alla corrosione, resistenza meccanica e conducibilità termica. È particolarmente adatto per i processi che coinvolgono gas ad alta temperatura e reattivi come CVD, PVD e attacco al plasma ed è una scelta chiave del materiale nel processo di produzione dei semiconduttori. Le tue ulteriori richieste sono benvenute.
Blocco SIC CVD per la crescita dei cristalli SIC

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Il blocco SIC CVD per la crescita dei cristalli SIC, è una nuova materia prima ad alta purezza sviluppata da Vetek Semiconductor. Ha un elevato rapporto di input-output e può coltivare cristalli singoli in carburo di silicio di alta qualità di grandi dimensioni, che è un materiale di seconda generazione per sostituire la polvere utilizzata oggi sul mercato. Benvenuti a discutere questioni tecniche.
Sic Crystal Growth New Technology

Sic Crystal Growth New Technology

Il carburo di silicio ad ultra-alta purezza di Vetek Semiconductor (SIC) formata dalla deposizione di vapore chimico (CVD) è raccomandato per essere utilizzato come materiale di origine per la coltivazione di cristalli di carburo di silicio mediante trasporto di vapore fisico (PVT). Nella nuova tecnologia della crescita del cristallo SIC, il materiale di origine viene caricato in un crogiolo e sublimato su un cristallo di semi. Utilizzare i blocchi CVD-SIC ad alta purezza per essere una fonte per i cristalli SIC in crescita. Benvenuti per istituire una partnership con noi.
CVD SIC DOOCH GETH

CVD SIC DOOCH GETH

Vetek Semiconductor è uno dei principali produttori di doccia SIC CVD e innovatore in Cina. Siamo stati specializzati in materiale SIC per molti anni. Il soffione SIC CVD è scelto come materiale ad anello di messa a fuoco grazie alla sua eccellente stabilità termochimica, elevata resistenza meccanica e resistenza all'erosione al plasma. Non vediamo l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina.
Sic Shower Head

Sic Shower Head

Vetek Semiconductor è uno dei principali produttori di soffioni SIC e innovatore in Cina. Siamo stati specializzati in materiale SIC per molti anni. Il soffione della doccia SIC è scelto come materiale ad anello di messa a fuoco grazie alla sua eccellente stabilità termochimica, elevata resistenza meccanica e resistenza all'erosione al plasma. Non vediamo l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Come produttore e fornitore professionista Carburo di silicio solido in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Sia che tu abbia bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della propria regione o desideri acquistare avanzati e durevoli Carburo di silicio solido realizzati in Cina, puoi lasciarci un messaggio.
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