Prodotti

Carburo di silicio solido

View as  
 
Anello per bordo SIC solido di deposizione di vapore chimico

Anello per bordo SIC solido di deposizione di vapore chimico

Vetek Semiconductor è sempre stato impegnato nella ricerca, nello sviluppo e nella produzione di materiali a semiconduttore avanzato. Oggi, Vetek Semiconductor ha fatto grandi progressi nei prodotti a base di anelli SIC di deposizione di vapore chimico ed è in grado di fornire ai clienti con anelli di bordo SiC solidi altamente personalizzati. Gli anelli di bordo SIC solido forniscono una migliore uniformità di attacco e un posizionamento preciso del wafer se utilizzati con un mandrino elettrostatico, garantendo risultati di incisione coerenti e affidabili. In attesa della tua richiesta e diventare reciproci partner a lungo termine.
Anello di messa a fuoco solido Sic Incisione

Anello di messa a fuoco solido Sic Incisione

L'anello di messa a fuoco per incisione del SiC solido è uno dei componenti principali del processo di incisione del wafer, che svolge un ruolo nel fissaggio del wafer, nella focalizzazione del plasma e nel miglioramento dell'uniformità dell'incisione del wafer. In qualità di produttore leader di anelli di messa a fuoco SiC in Cina, VeTek Semiconductor dispone di una tecnologia avanzata e di un processo maturo e produce anelli di messa a fuoco incisivi solidi SiC che soddisfano pienamente le esigenze dei clienti finali in base alle esigenze del cliente. Attendiamo con ansia la vostra richiesta e diventiamo reciproci partner a lungo termine.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


X
Utilizziamo i cookie per offrirti una migliore esperienza di navigazione, analizzare il traffico del sito e personalizzare i contenuti. Utilizzando questo sito, accetti il ​​nostro utilizzo dei cookie.politica sulla riservatezza
RifiutareAccettare