In che modo il rivestimento TaC migliora la durata dei componenti in grafite? - Semiconduttore VeTek

Rivestimento in carburo di tantalum CVDè prodotto mediante deposizione di vapore di carburo di tantalio (TaC) sulla superficie di un substrato di grafite ad elevata purezza utilizzando il processo brevettato di deposizione chimica di vapore (CVD) di VeTek Semiconductor.

I rivestimenti in carburo di tantalio (TaC) migliorano significativamente la durata di servizioparti di grafiteattraverso molteplici meccanismi, soprattutto in ambienti ad alta temperatura e altamente corrosivi come la produzione di semiconduttori e la crescita di cristalli. 

Ecco i motivi specifici per cuiRivestimenti TACmigliorare la durata delle parti in grafite:

● Resistenza ad alta temperatura migliorata

Stabilità termica estremamente elevata: i rivestimenti TAC sono in grado di rimanere stabili a temperature estremamente elevate superiori a 2000 ° C e possono persino funzionare efficacemente a 2200 ° C. Questa tolleranza ad alta temperatura consente al rivestimento di resistere all'erosione di metalli fusi e gas chimici durante la produzione di semiconduttori, estendendo così la durata di servizio delle parti di grafite.

●  Eccellente resistenza alla corrosione

Resistenza all'erosione chimica: i rivestimenti TAC hanno una forte resistenza ai gas corrosivi come idrogeno, ammoniaca e vapore di silicio, che possono effettivamente impedire a questi gas di confermare il substrato di grafite e ridurre il rischio di danni alle parti della grafite in ambienti difficili. Ciò significa che durante il processo di crescita dei cristalli, il rivestimento può inibire la migrazione di impurità e migliorare la qualità e la resa dei cristalli.

● Proprietà meccaniche migliorate

Buona adesione e resistenza agli shock termici: i rivestimenti TAC hanno una forte adesione al substrato di grafite, garantendo che il rivestimento non si sbaglierà o delaminerà durante le operazioni ad alta temperatura. Inoltre, la sua eccellente resistenza agli shock termici può resistere a rapide variazioni di temperatura senza crack o peeling, estendendo ulteriormente la durata di servizio delle parti di grafite.

● Ridurre la contaminazione da impurità

Purività ultra-alta: i rivestimenti TAC hanno un contenuto di impurità estremamente basso, che aiuta a ridurre i problemi di contaminazione che possono verificarsi in condizioni di alta temperatura. Impedendo alle impurità indesiderate di migrare allo strato epitassiale, i rivestimenti TAC migliorano significativamente la purezza e la qualità del processo di crescita dei cristalli.

● Ottimizzare la gestione termica

Migliorare la conduttività termica e la resistività: i rivestimenti TaC hanno una conduttività termica e una resistività relativamente basse, che ne consentono l'applicazione in riscaldatori e altri componenti di gestione termica per migliorare l'efficienza energetica e ridurre la perdita di energia. Questa caratteristica non solo migliora l'efficienza operativa, ma riduce anche l'affaticamento del materiale e i danni causati dal surriscaldamento.