Supporto RTA in grafite rivestita in carburo di silicio (SiC) CVD

Caratteristiche del prodotto

· Attrezzatura principale:Progettato per i sistemi di ricottura termica rapida (RTA) e di elaborazione termica rapida (RTP).

· Primary Aapplicazione: Ottimizzato per i processi di ricottura dei wafer semiconduttori.

· Opevalutazione Tetemperatura:Funzionamento stabile da 200°C a 700°C.

· Excellent Thermal Uniformità: Garantisce una distribuzione uniforme del calore per una lavorazione uniforme dei wafer.

· Particelle basseGinerazione: Il rivestimento denso CVD SiC riduce al minimo la contaminazione e migliora la resa produttiva.

· Resistenza chimica superiore:Resistente all'ossidazione e ai gas di processo corrosivi durante la lavorazione termica.

· EccezionalegTermal Resistenza agli urti: Mantiene l'integrità strutturale attraverso ripetuti cicli rapidi di riscaldamento e raffreddamento.

· Lunga durata:Il rivestimento SiC resistente all'usura prolunga significativamente la durata dei componenti e riduce i costi di manutenzione.

· CostumeProduzione:Disponibili in varie dimensioni e configurazioni per adattarsi a diverse apparecchiature RTP/RTA.

Specifiche tecniche

Applicazioni

·Ricottura termica rapida (RTA)

· Elaborazione termica rapida (RTP)

· Ricottura del wafer di silicio

· Attivazione del drogante

· Ossidazione

· Diffusione

·Produzione di semiconduttori composti

·Fabbricazione MEMS

·Elaborazione di semiconduttori di potenza

Domande frequenti

1. Che cos'è un vettore RTP/RTA?

Un carrier RTP/RTA è un componente di supporto wafer utilizzato all'interno dei sistemi di elaborazione termica rapida e ricottura termica rapida. Tiene saldamente i wafer semiconduttori fornendo allo stesso tempo un trasferimento di calore uniforme durante tutto il ciclo termico.

2. Perché è preferibile il rivestimento SiC CVD?

Rispetto alla grafite nuda, il rivestimento CVD SiC offre una resistenza superiore all'ossidazione, una minore generazione di particelle, una migliore stabilità chimica e una durata di servizio significativamente più lunga.

3. VETEK può fornire vettori RTP/RTA personalizzati?

SÌ. VETEK offre vettori RTP/RTA personalizzati sulla base dei disegni del cliente.