Rivestimento TAC CVD

Il rivestimento CVD TAC (deposizione di vapore chimico rivestimento in carburo di tantalum) è un prodotto di rivestimento principalmente composto da carburo di tantalum (TAC). Il rivestimento TAC ha una durezza estremamente elevata, resistenza all'usura e resistenza ad alta temperatura, rendendolo una scelta ideale per proteggere i componenti delle attrezzature chiave e migliorare l'affidabilità dei processi. È un materiale indispensabile nella lavorazione dei semiconduttori.

I prodotti di rivestimento CVD TaC vengono solitamente utilizzati nelle camere di reazione, nei supporti per wafer e nelle apparecchiature di incisione e svolgono in essi i seguenti ruoli chiave.

Il rivestimento CVD TaC viene spesso utilizzato per componenti interni di camere di reazione come substrati, pannelli a parete ed elementi riscaldanti. In combinazione con la sua eccellente resistenza alle alte temperature, può resistere efficacemente all'erosione di gas e plasma corrosivi ad alta temperatura, prolungando così efficacemente la durata dell'apparecchiatura e garantendo la stabilità del processo e la purezza della produzione del prodotto.

Inoltre, i portatori di wafer rivestiti TAC (come barche al quarzo, infissi, ecc.) Hanno anche un'eccellente resistenza al calore e resistenza alla corrosione chimica. Il vettore di wafer può fornire supporto affidabile per il wafer ad alte temperature, prevenire la contaminazione e la deformazione del wafer e quindi migliorare la resa complessiva del chip.

Inoltre, il rivestimento TaC di VeTek Semiconductor è ampiamente utilizzato anche in varie apparecchiature di incisione e deposizione di film sottile, come incisori al plasma, sistemi di deposizione di vapori chimici, ecc. In questi sistemi di lavorazione, il rivestimento CVD TAC può resistere al bombardamento ionico ad alta energia e a forti reazioni chimiche , garantendo così l'accuratezza e la ripetibilità del processo.

Qualunque siano le vostre esigenze specifiche, abbineremo la soluzione migliore per le vostre esigenze di rivestimento CVD TAC e attendiamo con ansia la vostra consulenza in qualsiasi momento.

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