Schermo e otturatore al quarzo opaco di elevata purezza per MOCVD

1. Specifiche tecniche

Forniamo lavorazioni meccaniche di alta precisione basate sui vostri disegni tecnici per garantire un adattamento perfetto ai vostri modelli di apparecchiature specifiche.

2. Campi di applicazione principali

● Protezione del processo MOCVD: Fungono da scudi/rivestimenti interni essenziali per proteggere l'ambiente di reazione.

● Epitassia dei semiconduttori: Utilizzati come otturatori ad alta precisione per la stabilizzazione del flusso e della temperatura durante la crescita del film sottile.

● Produzione di semiconduttori ad ampio gap di banda: Compatibile con ambienti ad alta richiesta di GaN e altri materiali avanzati.

3. Perché scegliere le soluzioni al quarzo VETEK?

● Gestione superiore delle radiazioni termiche: Il nostro quarzo bianco latte contiene un'alta densità di microbolle che disperdono e bloccano efficacemente la radiazione termica ad alta temperatura (>1000°C). Assorbe la luce visibile e del vicino infrarosso dagli elementi riscaldanti e la converte in radiazione del lontano infrarosso, garantendo un riscaldamento altamente uniforme.
● Controllo della contaminazione e facile manutenzione: Essendo un rivestimento interno sacrificale o sostituibile, il Quartz Shield mantiene pulita la camera di reazione prevenendo la deposizione di sottoprodotti sulle pareti e sui riscaldatori costosi della camera. Queste parti possono essere rigenerate tramite pulizia a umido (come le soluzioni SPM+DHF) o facilmente sostituite per garantire rese elevate di wafer.
● Estrema resistenza chimica: Il quarzo VETEK è progettato per resistere a frequenti cicli termici e alla corrosione da parte di sostanze organiche metalliche (come TMGa) e idruri (come AsH₃).
● Controllo di processo di precisione: Le nostre persiane al quarzo mantengono un'elevata stabilità dimensionale sotto riscaldamento a infrarossi o filamento. La loro bassa inerzia termica consente una risposta meccanica rapida, consentendo un controllo preciso della crescita a "livello atomico" e prevenendo la contaminazione incrociata durante la commutazione multi-wafer o multi-processo.
● Alternativa economica: Per progetti con requisiti di budget rigorosi, i nostri prodotti al quarzo forniscono un punto di ingresso affidabile rispetto alla grafite rivestita, offrendo protezione e funzionalità essenziali per i sistemi MOCVD.