Barche di wafer al quarzo

Le barche di wafer in quarzo sono strumenti di precisione indispensabili nel processo di produzione dei semiconduttori. Ha un ruolo vitale nel processo di diffusione ad alta temperatura ed è ampiamente utilizzato in LED, celle solari, dispositivi a semiconduttore tradizionali, diodi e altri campi. In queste applicazioni, la funzione principale della barca del wafer è quella di trasportare e posizionare stabilmente i wafer a semiconduttori per garantire che i wafer siano uniformemente riscaldati nel forno di diffusione ad alta temperatura, raggiungendo così le fasi chiave di processo come il doping o l'ossidazione. Le sue eccellenti proprietà fisiche rendono la barca del wafer al quarzo la pietra angolare di dispositivi a semiconduttore ad alte prestazioni.

Vantaggi del materiale chiave

Costruiti con quarzo fuso in termini di alta purezza, le barche del wafer di quarzo offrono una combinazione di caratteristiche termiche, chimiche ed elettriche superiori che sono fondamentali per le esigenze di applicazioni a semiconduttore:

● Basso coefficiente di espansione termica

Il materiale di quarzo ha un coefficiente di espansione termica estremamente bassa, il che significa che le dimensioni e la forma della barca del wafer possono rimanere altamente stabili in variazioni di temperatura estrema. Ciò è fondamentale per impedire al wafer di deformarsi o cracking dovuta allo stress termico nei processi ad alta temperatura, garantendo l'accuratezza e la coerenza di ciascun processo di diffusione.

● Stabilità ad alta temperatura

Il quarzo può mantenere la sua integrità strutturale e stabilità chimica a temperature estremamente elevate e non è facile da ammorbidire o deformare. Ciò consente alle barche del wafer al quarzo di resistere al duro ambiente di migliaia di gradi Celsius nel processo di diffusione dei semiconduttori, garantendo la continuità e l'affidabilità del processo.

● Ottimo isolamento

Il quarzo è un eccellente isolante elettrico. Nei processi di semiconduttore, la proprietà dell'isolamento può impedire effettivamente l'accumulo di carica o la scarica dell'arco, proteggendo così i dispositivi di semiconduttore sensibili dai danni e garantendo la sicurezza del processo.

● Eccellente stabilità chimica e trasparenza

Il quarzo ha un'eccellente inerzia chimica e non è facile reagire con gas chimici nel forno di diffusione o sostanze sulla superficie del wafer, evitando così la contaminazione dell'impurità e garantendo la purezza del prodotto. Inoltre, la sua trasparenza ottica presenta anche potenziali vantaggi in alcuni specifici processi di monitoraggio o di rilevamento ottico.

Applicazioni ：

● Produzione di chip a LED

● Diffusione e doping delle celle solari

● Fabbricazione di semiconduttore IC

● Elaborazione della batteria e dei diodi

● Ossidazione termica e forni LPCVD

Perché scegliere la nostra barca da wafer al quarzo?

● Repubblicato in quarzo sintetico di alta purezza

● Taglie personalizzabili per wafer da 2 pollici a 12 pollici

● Precisione dimensionale eccellente e finitura superficiale liscia

● Compatibile con tutti i principali sistemi di fornace di diffusione

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