Barattolo in quarzo a semiconduttore

Il barattolo in quarzo a semiconduttore è realizzato in materiale al quarzo ad alta purezza. Ha un'eccellente stabilità termica e una forte resistenza alla corrosione ed è utilizzato in molti campi. Nell'industria dei semiconduttori: Jar a campana in quarzo a semiconduttore fornisce un ambiente controllato per la deposizione di film sottile sui wafer durante la deposizione di vapore chimico (CVD). Il barattolo in quarzo a semiconduttore viene anche utilizzato in processi che richiedono tecnologia sotto vuoto, come la produzione di rivestimenti ottici, rivestimenti in metallo e altri tipi di materiali a film sottile. Il barattolo in quarzo a semiconduttore è anche necessario in molti esperimenti di scienze fisiche e materiali che richiedono un ambiente ad alta purezza, a livello di vuoto.

Scenari di utilizzo del settore dei semiconduttori:

Il polisilicio è un materiale di silicio composto da molti piccoli grani, ampiamente utilizzato nei circuiti integrati, nelle celle solari e in altri campi. La deposizione chimica da fase vapore (CVD) è uno dei metodi principali per preparare il silicio policristallino. Il principio di base è che il gas sorgente di silicio, come SiH4, viene decomposto ad alta temperatura e depositato sul substrato per formare silicio policristallino:

Sihcl3 + H2 ⇒ Si + 3HCL

In condizioni di alta temperatura e vuoto, il gas di origine del silicio è stato immesso nella deposizione di vapore chimico. Alla fine si ottiene il silicio policristallino. La campana di quarzo di grado semiconduttore è una parte importante del reattore CVD in silicio policristallino.

Reattore CVD in silicio policristallino

Sotto la reazione ad alta temperatura di CVD, la campana di vetro al quarzo di grado semiconduttore può fornire un ambiente termico uniforme. La resistenza alle alte temperature del materiale al quarzo ad alta purezza (può resistere a temperature fino a circa 1100°C) gli consente di funzionare stabilmente nelle reazioni CVD e garantire una distribuzione uniforme della temperatura nell'area di reazione. Nel processo CVD, ci sono molti componenti di gas tossici, come PH3, ecc. La campana di quarzo di grado semiconduttore può isolare efficacemente i gas chimici nella camera di reazione dall'ambiente esterno per prevenire perdite di gas dannose. La resistenza alla corrosione del materiale al quarzo ad alta purezza consente inoltre ad altri materiali di funzionare stabilmente per lungo tempo durante il processo CVD e non si corrono o si danneggiano facilmente.

Il barattolo del campanello di quarzo viene utilizzato in combinazione con il tubo di conservazione del calore al quarzo e la barca al quarzo verticale, ed è principalmente utilizzato nel processo epitassiale della produzione di chip integrato a semiconduttore. La fornace epitassiale adotta generalmente una struttura verticale, con il barattolo del campanello di quarzo all'esterno della barca al quarzo verticale e il tubo di conservazione del calore al quarzo come supporto.

Un'altra tipica applicazione del barattolo di campana in quarzo di grado a semiconduttore in ambiente ad alta temperatura: riscaldare un lotto di parti ortodontiche a 704 ℃ entro 1 secondo in un'atmosfera inerte per brasatura ：

Vetek Semiconductor ha un team tecnico maturo. Indipendentemente dalla forma o dal materiale del barattolo del campanello in quarzo ad alta purezza, possiamo personalizzarlo per te.

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