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LPE If Epi Supporter Set
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LPE If Epi Supporter Set

Suscettore piatto e suscettore a barilotto sono la forma principale dei suscettori EPI. VETEK Semiconductor è un produttore e innovatore di suscettori epi di LPE di LPE in Cina. Siamo stati specializzati nel rivestimento SIC e il rivestimento TAC per molti anni. Offriamo un susceptor LPE SI EPI LPE SI Set progettato specificamente per i wafer LPE PE2061S 4 ". Il grado di abbinamento di materiale di grafite e il rivestimento SIC è buono, l'uniformità è eccellente e la vita è lunga, il che può migliorare la resa della crescita dello strato epitassiale durante l'LPE (epitassia della fase liquida) Process. Ti diamo il benvenuto a visitare la nostra fabbrica in Cina.

Vetek Semiconductor è un LPE di Cina professionale se l'EPI Suppers imposta il produttore e il fornitore. Con una buona qualità e un prezzo competitivo, benvenuti a visitare la nostra fabbrica e ad instaurare una cooperazione a lungo termine con noi.


Il set di suscettori LPE Si Epi VeTeK Semiconductor è un prodotto ad alte prestazioni creato applicando uno strato sottile di carburo di silicio sulla superficie di un materiale altamente purificatoGrafite isotropica. Ciò è possibile grazie al processo CVD (Chemical Vapor Deposition) brevettato da VeTeK Semiconductor.


Il set di suscettori EPI LPE SI di Vetek Semiconductor è un reattore a botte di deposizione epitassiale CVD progettato per eseguire in modo affidabile anche in condizioni difficili. La sua eccezionale adesione di rivestimento, resistenza all'ossidazione ad alta temperatura e la corrosione lo rendono una scelta ideale per ambienti difficili. Inoltre, il suo profilo termico uniforme e il modello di flusso di gas laminare impediscono la contaminazione, garantendo la crescita di strati epitassiali di alta qualità.


Il design a forma di barile del nostro reattore epitassiale a semiconduttore ottimizza il flusso di gas, garantendo che il calore sia distribuito uniformemente. Questa caratteristica previene efficacemente la contaminazione e la diffusione di impurità, garantendo la produzione di strati epitassiali di alta qualità su substrati di wafer.


A Vetek Semiconductor, ci impegniamo a fornire ai clienti prodotti di alta qualità ed economici. Il nostro set di suscettori EPI LPE SI offre prezzi competitivi mantenendo un'eccellente densità sia per il substrato di grafite che perrivestimento in carburo di silicio. Questa combinazione garantisce una protezione affidabile in ambienti di lavoro corrosivi e ad alta temperatura.


DATI SEM DEL FILM CVD SIC

SEM DATA OF CVD SIC FILM


Proprietà fisiche di base del rivestimento SIC CVD:

Proprietà fisiche di base del rivestimento SIC CVD
Proprietà Valore tipico
Struttura cristallina FCC fase β policristallina, prevalentemente orientata (111).
Densità di rivestimento CVD SIC 3,21 g/cm³
Durezza del rivestimento SiC Durezza 2500 Vickers (carico 500 g)
Dimensione del grano 2~10μm
Purezza chimica 99.99995%
Capacità termica 640 J·kg-1· K-1
Temperatura di sublimazione 2700 ℃
Forza di flessione 415 MPA RT 4 punti
Modulo di Young 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Conducibilità termica 300 W·m-1· K-1
Dilatazione termica (CTE) 4,5×10-6K-1


Semiconduttore VeTek Set di recettori LPE SI EPINegozio di produzione

SiC Graphite substrateLPE SI EPI Susceptor Set testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment

Panoramica della catena industriale dell'epitassia dei chip semiconduttori:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Tag caldi: Set di recettori LPE SI EPI
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