Rivestimento in carburo di silicio

VeTek Semiconductor è specializzata nella produzione di prodotti di rivestimento in carburo di silicio ultra puri, questi rivestimenti sono progettati per essere applicati a grafite purificata, ceramica e componenti metallici refrattari.

I nostri rivestimenti ad elevata purezza sono destinati principalmente all'uso nei settori dei semiconduttori e dell'elettronica. Fungono da strato protettivo per supporti wafer, suscettori ed elementi riscaldanti, proteggendoli dagli ambienti corrosivi e reattivi incontrati in processi come MOCVD ed EPI. Questi processi sono parte integrante della lavorazione dei wafer e della produzione dei dispositivi. Inoltre, i nostri rivestimenti sono particolarmente adatti per applicazioni in forni a vuoto e riscaldamento di campioni, dove si incontrano ambienti ad alto vuoto, reattivi e con ossigeno.

Noi di VeTek Semiconductor offriamo una soluzione completa con le nostre capacità avanzate di officina meccanica. Ciò ci consente di produrre i componenti di base utilizzando grafite, ceramica o metalli refrattari e di applicare internamente i rivestimenti ceramici SiC o TaC. Forniamo anche servizi di rivestimento per le parti fornite dai clienti, garantendo flessibilità per soddisfare le diverse esigenze.

I nostri prodotti di rivestimento in carburo di silicio sono ampiamente utilizzati nell'epitassia Si, epitassia SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo di incisione, processo di incisione ICP/PSS, processo di vari tipi di LED, inclusi LED blu e verde, LED UV e UV profondo LED ecc., adattato alle apparecchiature LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e così via.

Parti del reattore che possiamo realizzare:

Il rivestimento in carburo di silicio offre diversi vantaggi esclusivi:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametro del rivestimento in carburo di silicio di VeTek Semiconductor

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD
Proprietà	Valore tipico
Struttura cristallina	FCC fase β policristallina, prevalentemente orientata (111).
Densità del rivestimento SiC	3,21 g/cm³
Rivestimento SiCDurezza	Durezza 2500 Vickers (carico 500 g)
Granulometria	2~10μm
Purezza chimica	99,99995%
Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura di sublimazione	2700 ℃
Resistenza alla flessione	415 MPa RT a 4 punti
Modulo di Young	Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
Conducibilità termica	300W·m^-1·K^-1
Dilatazione termica (CTE)	4,5×10-6K^-1

STRUTTURA CRISTALLINA DEL FILM CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Suscettore Epi rivestito in carburo di silicio Supporto per wafer con rivestimento SiC Copertura satellitare rivestita in SiC per MOCVD Suscettore Epi wafer con rivestimento CVD SiC Elemento riscaldante con rivestimento CVD SiC Porta wafer satellitare Aixtron Ricevitore Epi con rivestimento SiC Parti in grafite a mezzaluna con rivestimento in SiC

View as

Suscettore EPI Wafer Wafer di rivestimento CVD

VETEK Semiconductor CVD CVD Coating Wafer Wafer Susceptor è un componente indispensabile per la crescita dell'epitassia SIC, che offre una gestione termica superiore, resistenza chimica e stabilità dimensionale. Scegliendo il wafer EPI di vetek Semiconductor Wahit Wafer EPI, migliora le prestazioni dei processi MOCVD, portando a prodotti di qualità superiore e maggiore efficienza nelle operazioni di produzione di semiconduttori. Benvenuti le tue ulteriori richieste.

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Suscettore di grafite di rivestimento CVD SIC

VETEK Semiconductor CVD SIC SUSCTOR SUSTCHTOR di grafite è uno dei componenti importanti nel settore dei semiconduttori come la crescita epitassiale e l'elaborazione dei wafer. Viene utilizzato in MOCVD e altre apparecchiature per supportare la lavorazione e la gestione di wafer e altri materiali ad alta precisione. Vetek Semiconductor ha le principali capacità di produzione e produzione di suscettori di grafite con rivestimento SIC in Cina e capacità di produzione e produzione di grafite rivestite TAC e attende con impazienza la tua consultazione.

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Elemento di riscaldamento del rivestimento CVD SIC

L'elemento di riscaldamento del rivestimento CVD SIC svolge un ruolo fondamentale nei materiali di riscaldamento nel forno PVD (deposizione di evaporazione). Vetek Semiconductor è un produttore di elementi di riscaldamento rivestiti con SIC CVD leader in Cina. Abbiamo funzionalità avanzate di rivestimento CVD e possiamo fornirti prodotti di rivestimento SIC CVD personalizzati. Vetek Semiconductor non vede l'ora di diventare il tuo partner nell'elemento di riscaldamento rivestito SIC.

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Supporto rotante in grafite

Il suscettore a rotazione di grafite ad alta purezza svolge un ruolo importante nella crescita epitassiale del nitruro di gallio (processo MOCVD). Vetek Semiconductor è uno dei principali produttori di suscettori a rotazione in grafite e fornitore in Cina. Abbiamo sviluppato molti prodotti di grafite ad alta purezza basati su materiali di grafite ad alta purezza, che soddisfano completamente i requisiti del settore dei semiconduttori. Vetek Semiconductor non vede l'ora di diventare il tuo partner nel suscettore a rotazione di grafite.

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Anello di grafite ad alta purezza

L'anello di grafite ad alta purezza è adatto per i processi di crescita epitassiale GAN. La loro eccellente stabilità e prestazioni superiori li hanno resi ampiamente utilizzati. Vetek Semiconductor produce e produce anello di grafite ad alta purezza leader mondiale per aiutare l'industria dell'epitassia GAN a continuare a progredire. Veteksemi non vede l'ora di diventare il tuo partner in Cina.

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Suscettore CVD Sic Pancake

Come produttore leader e innovatore dei prodotti Sic Pancake SIC CVD in Cina. VETEK Semiconductor CVD SIC SUSCTOR PANCIAKE, come componente a forma di disco progettato per apparecchiature a semiconduttore, è un elemento chiave per supportare sottili wafer a semiconduttore durante la deposizione epitassiale ad alta temperatura. Vetek Semiconductor si impegna a fornire prodotti di suscitatore di pancake SIC di alta qualità e diventare il tuo partner a lungo termine in Cina a prezzi competitivi.

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Come produttore e fornitore professionista Rivestimento in carburo di silicio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Sia che tu abbia bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della propria regione o desideri acquistare avanzati e durevoli Rivestimento in carburo di silicio realizzati in Cina, puoi lasciarci un messaggio.

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