Rivestimento in carburo di silicio

VeTek Semiconductor è specializzata nella produzione di prodotti di rivestimento in carburo di silicio ultra puri, questi rivestimenti sono progettati per essere applicati a grafite purificata, ceramica e componenti metallici refrattari.

I nostri rivestimenti ad elevata purezza sono destinati principalmente all'uso nei settori dei semiconduttori e dell'elettronica. Fungono da strato protettivo per supporti wafer, suscettori ed elementi riscaldanti, proteggendoli dagli ambienti corrosivi e reattivi incontrati in processi come MOCVD ed EPI. Questi processi sono parte integrante della lavorazione dei wafer e della produzione dei dispositivi. Inoltre, i nostri rivestimenti sono particolarmente adatti per applicazioni in forni a vuoto e riscaldamento di campioni, dove si incontrano ambienti ad alto vuoto, reattivi e con ossigeno.

Noi di VeTek Semiconductor offriamo una soluzione completa con le nostre capacità avanzate di officina meccanica. Ciò ci consente di produrre i componenti di base utilizzando grafite, ceramica o metalli refrattari e di applicare internamente i rivestimenti ceramici SiC o TaC. Forniamo anche servizi di rivestimento per le parti fornite dai clienti, garantendo flessibilità per soddisfare le diverse esigenze.

I nostri prodotti di rivestimento in carburo di silicio sono ampiamente utilizzati nell'epitassia Si, epitassia SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo di incisione, processo di incisione ICP/PSS, processo di vari tipi di LED, inclusi LED blu e verde, LED UV e UV profondo LED ecc., adattato alle apparecchiature LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e così via.

Parti del reattore che possiamo realizzare:

Il rivestimento in carburo di silicio offre diversi vantaggi esclusivi:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametro del rivestimento in carburo di silicio di VeTek Semiconductor

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD
Proprietà	Valore tipico
Struttura cristallina	FCC fase β policristallina, prevalentemente orientata (111).
Densità del rivestimento SiC	3,21 g/cm³
Rivestimento SiCDurezza	Durezza 2500 Vickers (carico 500 g)
Granulometria	2~10μm
Purezza chimica	99,99995%
Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura di sublimazione	2700 ℃
Resistenza alla flessione	415 MPa RT a 4 punti
Modulo di Young	Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
Conducibilità termica	300W·m^-1·K^-1
Dilatazione termica (CTE)	4,5×10-6K^-1

STRUTTURA CRISTALLINA DEL FILM CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Suscettore Epi rivestito in carburo di silicio Supporto per wafer con rivestimento SiC Copertura satellitare rivestita in SiC per MOCVD Suscettore Epi wafer con rivestimento CVD SiC Elemento riscaldante con rivestimento CVD SiC Porta wafer satellitare Aixtron Ricevitore Epi con rivestimento SiC Parti in grafite a mezzaluna con rivestimento in SiC

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Anello di rivestimento CVD SiC

L'anello di rivestimento SIC CVD è una delle parti importanti delle parti di mezzamoia. Insieme ad altre parti, forma la camera di reazione di crescita epitassiale SIC. Vetek Semiconductor è un produttore e fornitore di anelli di rivestimento SIC CVD professionale. Secondo i requisiti di progettazione del cliente, possiamo fornire l'anello di rivestimento SIC CVD corrispondente al prezzo più competitivo. Vetek Semiconductor non vede l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina.

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Suscettore a botte rivestito di CVD SIC

Vetek Semiconductor è un produttore leader e innovatore del suscettore di grafite rivestito in CVD in Cina. Il nostro suscettore a botte rivestito CVD SIC svolge un ruolo chiave nel promuovere la crescita epitassiale di materiali a semiconduttore sui wafer con le sue eccellenti caratteristiche del prodotto. Benvenuti nella tua ulteriore consultazione.

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Suscettore di rivestimento MOCVD SiC

VeTek Semiconductor è un produttore e fornitore leader di suscettori di rivestimento SiC MOCVD in Cina, che da molti anni si concentra sulla ricerca e sviluppo e sulla produzione di prodotti di rivestimento SiC. I nostri suscettori di rivestimento SiC MOCVD hanno un'eccellente tolleranza alle alte temperature, una buona conduttività termica e un basso coefficiente di espansione termica, svolgendo un ruolo chiave nel supportare e riscaldare wafer di silicio o carburo di silicio (SiC) e una deposizione uniforme di gas. Benvenuti a consultare ulteriormente.

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Parti in grafite a mezzaluna con rivestimento in SiC

Come produttore e fornitore di semiconduttori professionisti, Vetek Semiconductor può fornire una varietà di componenti di grafite richiesti per i sistemi di crescita epitassiale SIC. Queste parti di grafite a mezzamoia di rivestimento SIC sono progettate per la sezione di ingresso del gas del reattore epitassiale e svolgono un ruolo vitale nell'ottimizzazione del processo di produzione dei semiconduttori. Vetek Semiconductor si impegna sempre a fornire ai clienti i prodotti di migliore qualità ai prezzi più competitivi. Vetek Semiconductor non vede l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina.

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Riscaldatore di grafite a zona calda

Il riscaldatore di grafite di VETEKSEMICON ZONA è progettato per gestire le condizioni estreme in forni ad alta temperatura e mantenere eccellenti prestazioni e stabilità in processi complessi come la deposizione di vapore chimico (CVD), la crescita epitassiale e la ricottura ad alta temperatura. Veteksemicon si concentra sempre sulla produzione e sulla fornitura di riscaldatori di grafite di zone di alta qualità. Ti invitiamo sinceramente a contattarci.

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Riscaldatore Veeco Mocvd

Vetek Semiconductor è un produttore leader e fornitore di prodotti di riscaldamento Veeco MOCVD in Cina. Il riscaldatore MOCVD ha un'eccellente purezza chimica, stabilità termica e resistenza alla corrosione. È un prodotto indispensabile nel processo di deposizione di vapore chimico organico metallico (MOCVD). Benvenuti nelle tue ulteriori richieste.

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Come produttore e fornitore professionista Rivestimento in carburo di silicio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Sia che tu abbia bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della propria regione o desideri acquistare avanzati e durevoli Rivestimento in carburo di silicio realizzati in Cina, puoi lasciarci un messaggio.

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