Servizio di pulizia delle parti in grafite con rivestimento CVD SiC

1. Sfide che potresti dover affrontare

• Strato AlN difficile da rimuovere:La pulizia termica a 1300°C non è ancora in grado di incidere efficacemente lo strato residuo di AlN.

• Effetto memoria ricorrente:L'effetto memoria superficiale provoca un flusso di gas instabile nel reattore, influenzando la coerenza del processo.

• Ciclo di pulizia Impacts Produttività:Tipicamente ogni 16 cicli di processo (4-5 suscettori) è necessaria la pulizia esterna.

• Preoccupazione di danneggiare il rivestimento costoso:La mancanza di esperienza interna nella pulizia chimica rende gli operatori restii a tentare una pulizia aggressiva.

2. La nostra soluzione: progettata per processi GaN/AlN/AlGaN

• Pulizie professionali:Processo personalizzato sviluppato appositamente per parti in grafite rivestite CVD SiC. Nessuna formula chimica richiesta al cliente.

• Sicurezza del rivestimento:Protegge rigorosamente il rivestimento SiC CVD da 100 µm. Perdita di spessore pari a zero dopo la pulizia.

• Risultati verificabili:Certificato di analisi completo (COA) che copre cinque dimensioni principali. Dati pronti per l'archiviazione e il controllo di qualità.

3. Cinque criteri fondamentali di accettazione

Rigorosamente allineato con i requisiti critici degli utenti dell'epitassia dei semiconduttori:

1. Perdita di rivestimento pari a zero– Lo spessore del rivestimento SiC non viene mai ridotto dopo la pulizia (verifica comparativa dello spessore pre/post).

2. Nessuna deformazione superficiale– La planarità e l'accuratezza geometrica sono rigorosamente controllate per garantire l'assenza di deformazioni fisiche.

3. Elimina l'effetto memoria– L’analisi XPS per i residui di Al/Ga conferma la completa rimozione delle fonti dell’effetto memoria.

4. Zero residui metallici– I test ICP-MS per Fe, Cu, Ni e altri metalli verificano che non vi siano impurità metalliche residue.

5. Nessuna particella in eccesso– Il test delle particelle QIII e la verifica della pulizia prevengono l'instabilità del flusso di gas causata da particelle residue.

4. Ispezione alla consegna e rapporto COA

Ogni lotto viene consegnato con dati di verifica completi su cinque dimensioni principali:

5. Prodotti applicabili e informazioni sul processo

Parametri del prodotto

Processo di servizio

1. Richiesta– Invia foto/modello/quantità della parte per la valutazione.

2. Citazione– Valutazione tecnica e proposta di pulizia dettagliata con preventivo.

3. Spedizione– Spedirci i componenti o organizzare il servizio di ritiro.

4. Pulizia– Pulizia professionale + ispezione multidimensionale completa.

5. Rapporto– Rapporto COA emesso e parti pulite restituite.

6. Seguito– Monitoraggio degli effetti e supporto tecnico continuo.

6. Perché scegliere il servizio di pulizia VETEK?

VETEK combina una profonda esperienza nella tecnologia di rivestimento CVD SiC con capacità di pulizia specializzate per suscettori di grafite di alto valore. Comprendiamo l'importanza fondamentale dell'integrità del rivestimento, del controllo delle particelle e della purezza del processo nell'epitassia GaN/AlN. Il nostro servizio è progettato per i clienti che richiedono assoluta sicurezza per costosi rivestimenti CVD SiC risolvendo al tempo stesso completamente i problemi di effetto memoria e di instabilità del flusso di gas.

· Pulizia di prova disponibile per la verifica di piccoli lotti

· Rapporto COA completo fornito con ogni consegna

· Zero rischi di danni al rivestimento o nuove contaminazioni

· Professionale · Sicuro · Verificabile