Quarzo fuso elettrico

Il quarzo fuso elettrico è costituito da tetracloruro di silicio di elevata purezza (SiCl₄) come materia prima e raffinato mediante processo di fusione a fiamma idrogeno-ossigeno. Il quarzo fuso elettrico non ha bolle all'interno e ha prestazioni e stabilità eccellenti, garantendo un uso stabile a lungo termine in ambienti ottici e semiconduttori difficili. Allo stato attuale, il quarzo elettrofuso è stato ampiamente utilizzato nei campi dei semiconduttori e dell'ottica.

Campo a semiconduttore

●  Il quarzo fuso elettrico svolge un ruolo importante nella produzione e nella lavorazione di wafer semiconduttori e viene solitamente utilizzato come componenti come supporti per wafer, supporti e tubi di diffusione. La sua stabilità alle alte temperature e la resistenza alla corrosione garantiscono la purezza e la stabilità del materiale in ambienti chimici aggressivi e ad alte temperature, mentre il basso coefficiente di espansione garantisce stabilità dimensionale durante la lavorazione ad alta temperatura.

●  Maschera per fotolitografia. Nella produzione di semiconduttori, la ceramica del crogiolo di quarzo viene utilizzata anche come materiale di substrato per la maschera fotolitografica. La sua elevata purezza e l'eccellente trasparenza ottica consentono un trasferimento preciso del modello durante la litografia ultravioletta e ultravioletta profonda (DUV).

●  Tubi di diffusione del gas e camere di reazione. I tubi di diffusione e le camere di reazione in quarzo fuso elettricamente sono materiali ideali per processi come (CVD), ossidazione e diffusione. Questi componenti hanno un'eccellente resistenza alla corrosione alle alte temperature e non reagiscono con i gas reattivi, evitando così l'introduzione di impurità e migliorando la qualità del prodotto.

Campo ottico

● Componenti ottici ad alta precisione. Il quarzo fuso elettrico viene spesso utilizzato per produrre componenti ottici come lenti, prismi e riflettori grazie alla sua elevata trasmittanza e uniformità, soprattutto in applicazioni che richiedono elevata trasmittanza e bassa dispersione.

●  Applicazioni ottiche UV e UV profonde. Il quarzo fuso elettrico ha un'eccellente trasmissione ottica nelle bande UV e profonde, rendendolo particolarmente adatto per i sistemi ottici UV. La sua elevata purezza e un contenuto di bassa impurità riducono l'assorbimento della luce nella banda UV, rendendolo un materiale importante nei profondi sistemi ottici UV.

●  Componenti ottici laser. Nei sistemi laser ad alta energia, il crogiolo ceramico al quarzo viene spesso utilizzato per produrre componenti come finestre laser, divisori di raggio e filtri grazie alla sua resistenza agli shock laser ad alta energia e alla bassa birifrangenza. La sua struttura ad elevata purezza evita la perdita di luce e la deformazione termica, rendendolo la scelta ideale per i sistemi laser ad alta potenza.

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