Rivestimento in ceramica in carburo di silicio

Semiconduttore Rivestimento in ceramica in carburo di silicioè un rivestimento protettivo ad alte prestazioni realizzato in materiale di silicio in carburo (SIC) estremamente duro e resistente all'usura, che fornisce un'eccellente resistenza alla corrosione chimica e stabilità ad alta temperatura. Queste proprietà sono cruciali per la produzione di semiconduttori, quindi il rivestimento ceramico in carburo di silicio è ampiamente utilizzato sui componenti chiave delle attrezzature di produzione di semiconduttori.

Il ruolo specifico svolto dal rivestimento in ceramica in carburo di silicio vetek in carburo in produzione di semiconduttori ècome segue:

Migliorare la durata dell'attrezzatura: Il rivestimento in ceramica in carburo di silicio offre un'eccellente protezione della superficie per le attrezzature di produzione di semiconduttori con la sua durezza estremamente elevata e resistenza all'usura. Soprattutto in ambienti di processo altamente corrosivi e altamente corrosivi, come la deposizione di vapore chimico (CVD) e l'attacco al plasma, il rivestimento ceramico in carburo di silicio può impedire efficacemente danni alla superficie dell'attrezzatura a causa dell'erosione chimica o dell'usura fisica, estendendo così significativamente la durata di servizio dell'attrezzatura e riducendo i tempi di inattività causati dalla sostituzione frequente e

Migliorare la purezza del processo: Nel processo di produzione dei semiconduttori, qualsiasi piccola contaminazione può causare difetti del prodotto. L'inertezza chimica del rivestimento ceramico in carburo di silicio gli consente di rimanere stabile in condizioni estreme, impedire al materiale di rilasciare particelle o impurità e garantire la purezza dell'ambiente durante il processo. Ciò è particolarmente importante per le fasi di produzione che richiedono alta precisione e alta pulizia, come l'impianto PECVD e ioni.

Ottimizzare la gestione termica: Nell'elaborazione a semiconduttore ad alta temperatura, come la rapida elaborazione termica (RTP) e i processi di ossidazione, l'elevata conduttività termica del rivestimento ceramico in carburo di silicio consente una distribuzione uniforme della temperatura all'interno dell'attrezzatura. Ciò aiuta a ridurre lo stress termico e la deformazione del materiale causato dalle fluttuazioni della temperatura, migliorando così l'accuratezza e la coerenza della produzione del prodotto.

Supportare l'ambiente di processo complesso: Nei processi che richiedono un controllo complesso con l'atmosfera, come i processi di incisione dell'ICP e di attacco PSS, la stabilità e la resistenza all'ossidazione del riscaldatore di rivestimento in carburo di silicio garantiscono le prestazioni stabili dell'attrezzatura in funzionamento a lungo termine, riducendo il rischio di degradazione del materiale o danni alle attrezzature a causa di cambiamenti ambientali.

Semiconduttoresi concentra sulla produzione e sulla fornitura di alte prestazioniRivestimento in ceramica in carburo di silicio, e si impegna a fornire soluzioni avanzate di tecnologia e prodotto per l'industria dei semiconduttori.Speriamo sinceramente di essere il tuo partner a lungo termine in Cina.

Proprietà fisiche di base diRivestimento in ceramica in carburo di silicio:

Negozi di rivestimento in carburo di silicio a semiconduttore Vetek:

Panoramica della catena dell'industria dell'epitassia del chip a semiconduttore: