Fondo per collezionista di rivestimento SIC

Vetek Semiconductor è il produttore impegnato a fornire alta qualitàRivestimento CVD TACe CVD SIC Coating Collector Bottom e lavora a stretto contatto con le attrezzature Aixtron per soddisfare le esigenze dei nostri clienti. Sia nell'ottimizzazione del processo o nello sviluppo di nuovi prodotti, siamo pronti a fornirti supporto tecnico e rispondere a qualsiasi domanda tu possa avere.

Funzione principale del prodotto

Garanzia di stabilità del processo

Controllo del gradiente di temperatura: ±1.5℃/cm@1200℃

Ottimizzazione del campo di flusso: la progettazione speciale del canale rende l'uniformità di distribuzione del gas di reazione fino al 92,6%

Meccanismo di protezione delle attrezzature

Dual Protection:

Tampone di shock termico: resistere a 10 ℃/s VAPPIO DI TEMPERA DI TEMPERATURA

Intercettazione delle particelle: trapping> particelle di sedimenti 0,3 μm

Nel campo della tecnologia all'avanguardia

Controllo della qualità dell'intero processo

Sistema di tracciabilità della produzione

Fonte di materie prime: Tokai/Toyo Grafite dal Giappone, SGL Grafite dalla Germania

Monitoraggio dei gemelli digitali: ogni componente è abbinato a un database di parametri di processo indipendente

Scenario dell'applicazione:

Produzione di semiconduttori di terza generazione

Scenario: crescita epitassiale SIC da 6 pollici (controllo di spessore di 100-150 μm)

Modello compatibile: Aixtron G5 WW/CRIUS II

Utilizzando il collettore con rivestimento Aixtron SIC TOP, Collector Center e Collector rivestito SIC, la gestione termica e la protezione chimica nei processi di produzione di semiconduttori possono essere ottimizzati, l'ambiente di crescita del film può essere ottimizzato e la qualità e la coerenza del film possono essere migliorate. La combinazione di questi componenti nelle apparecchiature Aixtron garantisce condizioni di processo stabili e una produzione efficiente dei semiconduttori.

Dati SEM del film CVD SIC