Barca per wafer ceramici in carburo di silicio

I vantaggi dell'utilizzo della barca per wafer ceramici al carburo di silicio Veteksemi

●  Resistenza alla temperatura molto elevata fino a 3000 F (1650 ℃ ）

● Resistenza alla corrosione super ad acidi, solventi, sali e organici, resistenti all'usura  

●  Facile da pulire

●  Forte resistenza agli urti

● Slip Free

L'industria manifatturiera di VeTek Semiconductor elabora tipicamente questi wafer su supporti wafer orizzontali o verticali.

●  Il vettore orizzontale, tipicamente chiamata "barca", ha tre o quattro barre disposte orizzontalmente disposte a semicerchio, con ciascuna barra avente scanalature rivolte verso l'interno disposte al suo interno a intervalli regolari. Ciascuna serie di scanalature definisce uno spazio verticale per portare un wafer disposto verticalmente.

● Il vettore verticale, tipicamente chiamato "rack verticale", ha tre o quattro aste (o montanti) disposte verticalmente disposte a semicerchio, con ciascun montante avente fessure disposte al suo interno a intervalli regolari per definire uno spazio per supportare un wafer disposto orizzontalmente.

Per assicurare la precisione geometrica richiesta in questo campo, le tre o quattro aste sono fissate ad una piastra superiore e ad una piastra inferiore. Le porzioni del montante tra ciascuna fessura, chiamate "denti", sono distanziate in modo identico per supportare i wafer a intervalli regolari da e parallelamente alla piastra inferiore. L'intero rack viene quindi posizionato all'interno di un forno verticale per la lavorazione dei wafer.

Poiché un wafer lavorato su un rack verticale presenta un gradiente di temperatura inferiore sulla sua superficie (rispetto a un wafer lavorato su una barca orizzontale), i produttori di semiconduttori si rivolgono sempre più ai forni verticali. Esiste tuttavia uno svantaggio del forno verticale. I wafer disposti su un rack verticale convenzionale sono supportati solo sul bordo esterno. Pertanto, le aree del wafer appoggiate su questi denti subiscono uno stress maggiore rispetto al resto del wafer.

Quando le temperature nel forno superano circa 1000°C, queste sollecitazioni diventano spesso significative e porzioni del wafer monocristallino si muovono l'una rispetto all'altra lungo le piastre cristallografiche in risposta a tale sollecitazione. Questo fenomeno, chiamato "scorrimento", distrugge di fatto il valore dei dispositivi a semiconduttore situati nella zona del wafer in cui si è verificato lo scorrimento.

Come principale fornitore e produttore e produttore di wafer boat in ceramica in carburo di silicio in Cina, Vetek Semiconductor è sempre stato impegnato a fornire soluzioni avanzate di prodotti per la tecnologia e il wafer per il settore della lavorazione dei semiconduttori. Non vediamo l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina.

Semiconduttore VeTekOfficine di produzione di barche con wafer ceramico in carburo di silicio: