Anello di messa a fuoco in SiC solido

6.Principali campi di applicazione

7. Vantaggi del nucleo dell'anello di messa a fuoco SiC solido Veteksem

Eccellente resistenza alla corrosione al plasma

In caso di esposizione prolungata a plasmi altamente corrosivi e ad alta densità come CF4, O2 e Cl2, i materiali convenzionali sono soggetti a rapida usura e contaminazione da particelle. Il nostro solido anello di messa a fuoco in SiC mostra un'eccellente resistenza alla corrosione, con un tasso di corrosione di gran lunga inferiore a quello di materiali come quarzo o allumina. Ciò significa che mantiene una superficie liscia nel tempo, riducendo significativamente il rischio di difetti dei wafer causati dall'usura dei componenti, garantendo una produzione di massa continua e stabile.

Eccellente stabilità alle alte temperature e prestazioni di gestione termica

Il processo di attacco dei semiconduttori genera calore significativo, causando notevoli fluttuazioni di temperatura nei componenti della camera. I nostri anelli di messa a fuoco hanno un coefficiente di dilatazione termica estremamente basso, in grado di resistere a temperature transitorie fino a 1600°C senza crepe o deformazioni. Inoltre, la loro elevata conduttività termica intrinseca aiuta a disperdere il calore in modo uniforme e rapido, migliorando efficacemente la distribuzione della temperatura sul bordo del wafer, migliorando cosìgarantendo l'uniformità dell'incisione e la consistenza delle dimensioni critiche sull'intero wafer.

Straordinaria purezza dei materiali e densità strutturale

Controlliamo rigorosamente la purezza delle materie prime di carburo di silicio (≥99,999%) ed eliminiamo la contaminazione dei metalli durante il processo di sinterizzazione per soddisfare i severi requisiti dei processi di produzione avanzati per il controllo delle tracce di impurità. La struttura densa formata attraverso la sinterizzazione ad alta temperatura ha una porosità estremamente bassa, bloccando quasi completamente la penetrazione dei gas di processo e dei sottoprodotti. Ciò impedisce il degrado delle prestazioni e la crescita di particelle causata dal degrado del materiale interno, garantendo un ambiente puro della camera di processo.

Lunga durata meccanica e completa redditività

Rispetto ai materiali di consumo convenzionali che richiedono sostituzioni frequenti, gli anelli di messa a fuoco solidi SiC Veteksemi offrono una durata eccezionale. Mantengono prestazioni stabili per tutta la loro durata di servizio, estendendo più volte i cicli di sostituzione. Ciò non solo riduce direttamente i costi di approvvigionamento dei pezzi di ricambio, ma migliora anche significativamente l'utilizzo delle macchine riducendo i tempi di fermo delle apparecchiature per la manutenzione, con conseguenti notevoli vantaggi in termini di costi complessivi per i clienti.

Controllo preciso delle dimensioni e servizi di personalizzazione flessibili

Comprendiamo i requisiti precisi di diverse macchine e processi per i materiali di consumo. Ogni anello di messa a fuoco è sottoposto a lavorazione di precisione e test rigorosi per garantire tolleranze dimensionali critiche entro ± 0,05 mm. Offriamo anche servizi personalizzati, tra cui dimensioni personalizzate, finiture superficiali (lucidatura fino a Ra ≤ 0,2μm) e regolazioni della conduttività per soddisfare perfettamente i vostri requisiti di processo specifici e scenari applicativi.

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