Piastra di rotazione del rivestimento TAC

La piastra di rotazione del rivestimento TAC di Vetek Semiconductor ha una composizione ad alta purezza, un contenuto di impurità inferiore alle 5pm e una struttura densa e uniforme, ampiamente utilizzata nei sistemi EPI LPE, sistemi Aixtron, sistemi NuFlare, sistemi Tel CVD, sistemi VeeCO, sistemi TSI.

● Ottimi proprietà meccaniche:

Durezza del rivestimento fino a 2300HV, con eccellente resistenza all'usura.

L'adesione tra il rivestimento e il substrato è forte e non è facile cadere o sbucciare.

Il rivestimento può ancora mantenere una buona stabilità strutturale ad alta temperatura.

●  Eccellente resistenza alla corrosione:

Il materiale TAC stesso ha un'eccellente stabilità chimica e resistenza alla corrosione.

I rivestimenti di Vetek Semiconductor si comportano bene in una varietà di ambienti di gas aggressivi.

Può proteggere efficacemente i componenti interni dell'apparecchiatura dal danno da corrosione.

● Finitura superficiale elevata:

Vetek Semiconductor utilizza un processo di rivestimento preciso per produrre la finitura desiderata.

La bassa rugosità superficiale aiuta a ridurre l'accumulo e la deposizione delle particelle.

● La coerenza del rivestimento è buona:

Vetek Semiconductor ha un sistema di controllo della qualità del suono per garantire prestazioni coerenti tra i lotti.

Lo spessore del rivestimento è distribuito uniformemente e non ci sono ovvi difetti locali.

● Eccellenti prestazioni pratiche dell'applicazione:

Il rivestimento TAC di Vetek Semiconductor è ampiamente utilizzato in molti noti produttori di attrezzature epitassiali in patria e all'estero.

Parametro fisico del prodotto della piastra di rotazione rivestita TAC:

Rivestimento in carburo di tantalum su una sezione microscopica