Epi Supporter

Vetek Semiconductor è un leader professionista in Cina EPI intrapresa, ALD Planetary Tugor e produttore di supporto a grafite rivestito TAC. E Il nostro supporto EPI è un componente importante dicrescita epitassialeNel processo di produzione dei semiconduttori. La sua funzione principale è supportare e riscaldare il wafer in modo che uno strato epitassiale di alta qualità possa essere coltivato uniformemente sulla superficie del wafer.

I suscettori EPI di Vetek Semiconductors sono generalmente realizzati in grafite di alta purezza e rivestiti con uno strato di carburo di silicio (SIC).Questo design ha i seguenti vantaggi chiave:

● Stabilità ad alta temperatura: Il suscettore EPI può rimanere stabile in un ambiente ad alta temperatura, garantendo la crescita uniforme dello strato epitassiale.

● Resistenza alla corrosione: Il rivestimento SIC ha un'eccellente resistenza alla corrosione e può resistere all'erosione dei gas chimici, estendendo la durata del vassoio.

● Conducibilità termica: L'elevata conduttività termica del materiale SIC garantisce la distribuzione uniforme della temperatura del wafer durante il riscaldamento, migliorando così la qualità dello strato epitassiale.

● Matching coefficiente di espansione termica: Il coefficiente di espansione termica di SIC è simile a quello della grafite, evitando il problema del rivestimento a causa dell'espansione termica e della contrazione.

Proprietà fisiche di base diRivestimento CVD SIC:

Negozio di produzione di rivestimento CVD SIC:

Panoramica della catena dell'industria dell'epitassia del chip a semiconduttore: