Suscettore pancake rivestito in SiC per wafer LPE PE3061S da 6 pollici

Come produttore professionista, Vetek Semiconductor desidera offrirti un suscettore di pancake rivestito di SIC di alta qualità per i wafer LPE PE3061S 6 ''.

Il suscettore pancake rivestito in SiC di VeTeK Semiconductor per wafer LPE PE3061S da 6" è un'apparecchiatura critica utilizzata nei processi di produzione di semiconduttori.

Suscettore pancake rivestito in SiC per wafer LPE PE3061S da 6" Caratteristiche del prodotto:

Stabilità alle alte temperature: il SiC mostra un'eccellente stabilità alle alte temperature, mantenendo la sua struttura e le sue prestazioni in ambienti ad alta temperatura.

Eccezionale conducibilità termica: SIC ha una conducibilità termica eccezionale, consentendo un trasferimento di calore rapido e uniforme per il riscaldamento rapido e uniforme.

Resistenza alla corrosione: il SiC possiede un'eccellente stabilità chimica, resistendo alla corrosione e all'ossidazione in vari ambienti di riscaldamento.

Distribuzione uniforme del riscaldamento: il supporto per wafer rivestito in SiC fornisce una distribuzione uniforme del riscaldamento, garantendo una temperatura uniforme su tutta la superficie del wafer durante il riscaldamento.

Adatto alla produzione di semiconduttori: il vettore di wafer di epitassia SI è ampiamente utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori, in particolare per la crescita dell'epitassia SI e altri processi di riscaldamento ad alta temperatura.

Vantaggi del prodotto:

Miglioramento dell'efficienza produttiva: il suscettore pancake rivestito in SiC consente un riscaldamento rapido e uniforme, riducendo i tempi di riscaldamento e migliorando l'efficienza produttiva.

Qualità del prodotto assicurata: la distribuzione uniforme del riscaldamento garantisce coerenza durante la lavorazione del wafer, portando a una migliore qualità del prodotto.

Maggiore durata dell'attrezzatura: il materiale SiC offre un'eccellente resistenza al calore e stabilità chimica, contribuendo a una maggiore durata del suscettore pancake.

Soluzioni personalizzate: suscettore con rivestimento SIC, SI Epitaxy Wafer Carrier può essere adattato a diverse dimensioni e specifiche basate sui requisiti del cliente.

Proprietà fisiche di base del rivestimento SIC CVD:

Semiconduttore commerciale

Panoramica della catena dell'industria dell'epitassia del chip a semiconduttore: