PECVD Grafite Boat

Veteksemicon è un produttore e fornitore di barche per grafite PECVD professionista.

Qual è il ruolo della barca per grafite PECVD (rivestimento) di cella solare (rivestimento) di Vetek?

Come vettore di normali wafer di silicio prodotti dal processo di rivestimento, la barca di grafite ha molti wafer di barche con alcuni intervalli nella struttura e c'è uno spazio molto stretto tra i due wafer di barca adiacenti e i wafer di silicio sono posizionati su entrambi i lati della porta vuota.

Poiché il materiale della barca della grafite PECVD ha una buona proprietà elettrica e di conducibilità termica, la tensione CA è richiesta nelle due barche adiacenti, in modo che le due barche adiacenti formino poli positivi e negativi, quando vi sono una certa pressione e gas nella camera, si verifica tra le due barche, lo scarico luminoso può decomprimere il SIH4 e il NH3 a gas, che si formano asili. Le molecole SINX si formano e si depositano sulla superficie del wafer di silicio per raggiungere lo scopo del rivestimento.

Le barche di grafite PECVD vengono generalmente utilizzate come vettori per trasportare wafer di silicio o altri materiali per garantire una manipolazione e il trasporto sicuri di questi materiali in ambienti ad alta temperatura e plasma. Ad esempio, nel processo di produzione di semiconduttori, le barche di grafite PECVD di Veteksemicon sono progettate per i processi di deposizione di vapore chimico migliorati al plasma. La barca di grafite svolge il ruolo di depositare gli strati di passivazione di nitruro di silicio (SINₓ) e pellicole costante dielettrica bassa (Low-K).

Nel campo fotovoltaico, le barche di grafite PECVD vengono utilizzate per preparare celle solari a film sottile a base di silicio (come gli strati di passione del silicio Amorfo A-SI: H) e per la cella perc. La barca di grafite PECVD di Veteksemicon ottimizza il processo di rivestimento spaziando efficacemente i wafer di silicio e inducendo lo scarico del bagliore per ottenere una deposizione di rivestimento uniforme.

Ancora più importante, Veteksemicon può fornire prodotti e servizi tecnici personalizzati e può progettare e produrre prodotti in barca a grafite di diverse specifiche in base ai requisiti di processo effettivi. Non vediamo l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine.

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