Anello in grafite rivestito in carburo di tantalio poroso (TaC).

Caratteristiche del prodotto

• Attrezzatura principale:Destinato ai forni di crescita monocristallino SiC che funzionano con la tecnologia PVT.
• Applicazione principale:Adatto per sistemi di campo termico nella crescita di cristalli SiC semiconduttori di terza generazione.
• Stabilità alle alte temperature:Il rivestimento TaC mantiene l'integrità strutturale a temperature ultra elevate, supportando il funzionamento prolungato in ambienti termici esigenti.
• Protezione dalla corrosione:Il denso strato di TaC CVD protegge il substrato di grafite dai vapori di silicio, dai gas contenenti carbonio e da altre specie corrosive incontrate durante la crescita del SiC.
• Prestazioni del campo termico:La base porosa in grafite favorisce la distribuzione del calore e il trasporto del vapore, contribuendo a mantenere condizioni di crescita stabili.
• Bassa contaminazione:I materiali di partenza ad elevata purezza e il rivestimento denso limitano il rilascio di impurità e la dispersione di particelle, a vantaggio della qualità dei cristalli.
• Durata della vita estesa:Lo strato TaC migliora la resistenza all'ossidazione, la durezza superficiale e la durata complessiva a temperature elevate.
• Adesione del rivestimento:Il processo CVD produce un forte legame tra il film TaC e il substrato di grafite.
• Opzioni personalizzate:Dimensioni, dettagli strutturali e specifiche del rivestimento possono essere regolati per soddisfare i diversi requisiti del forno di crescita SiC.

Specifiche tecniche

Applicazioni

L'anello in grafite rivestita in TaC poroso VETEK viene utilizzato principalmente in:

• Crescita del singolo cristallo SiC tramite PVT
• Produzione di semiconduttori di terza generazione
• Produzione di substrati SiC
• Sistemi di campo termico in forni per la crescita dei cristalli
• Lavorazione di semiconduttori ad alta temperatura
• Componenti avanzati della zona calda in grafite

Domande frequenti

1. Che cos'è un anello di grafite rivestito in TaC poroso?

È un componente del campo termico per forni per la crescita dei cristalli SiC. Combina una struttura in grafite porosa con un rivestimento CVD TaC per fornire gestione termica e protezione contro la corrosione ad alta temperatura.

2. Perché utilizzare il rivestimento TaC per la crescita dei cristalli SiC?

TaC fornisce stabilità alle alte temperature e resistenza chimica. Protegge la grafite dall'attacco dei vapori di silicio e aiuta a mantenere un ambiente di crescita pulito e stabile.

3. Cosa offre la struttura porosa della grafite?

Il design poroso supporta la distribuzione termica e il trasporto del gas all'interno del forno, contribuendo a condizioni stabili di crescita dei cristalli SiC.

4. VETEK può produrre anelli in grafite rivestiti TaC personalizzati?

SÌ. VETEK offre la personalizzazione in base ai disegni del cliente, alla progettazione dei forni e alle esigenze del processo, comprese dimensioni, configurazione del substrato e parametri di rivestimento.