Anello a tre petali rivestito in TaC

VeTek Semiconductor è un produttore e fornitore professionale di anelli a tre petali rivestiti in TaC in Cina. L'anello a tre petali rivestito in TaC viene utilizzato nel sistema di deposizione Aixtron G10 per semiconduttori composti, epitassia ad alta produttività G10-GaN da 150/200 mm per potenza GaN e RF applicazioni.

Il rivestimento TAC a semiconduttore Vetek è una nuova generazione di materiale resistente alla temperatura ad alta temperatura, con una migliore stabilità ad alta temperatura rispetto a SIC, poiché un rivestimento resistente alla corrosione, rivestimento resistente all'ossidazione, rivestimento resistente all'usura, può essere utilizzato nell'ambiente superiore al 2000 ℃, ampiamente utilizzato in Parti aerospaziale a temperatura alta ad alta temperatura, la terza generazione di crescita a cristallo singolo semiconduttore e altri campi.

Caratteristiche del prodotto:

1. Alta purezza, contenuto di impurità <5ppm

2. Resistenza alle alte temperature, resistenza alla corrosione, alta densità, alta densità

3. È chimicamente inerte all'ammoniaca, all'idrogeno, al silano e al silicio ad alta temperatura e ha una buona stabilità termica.

4. La resistenza agli shock termici può accelerare il ciclo operativo

5. L'adesione di grafite forte garantisce una lunga durata e nessuna delaminazione del rivestimento.

6. Tolleranze dimensionali rigorose.

Principali applicazioni:

1. Crescita epitassiale

2. Crescita del singolo cristallo

3. Deviazione della corrosione ad alta temperatura

4. Ugello resistente all'alta temperatura e all'ossidazione

5. Pale di turbine a gas

Parametro del prodotto dell'anello a tre petali rivestito in TaC

Confronta il negozio di produzione di semiconduttori ：