Grafite porosa rivestita in carburo di tantalio (TaC) per la crescita dei cristalli SiC

La grafite porosa rivestita in carburo di tantalio di VeTek Semiconductor è progettata per ottimizzare l'ambiente di crescita dei cristalli SiC attraverso quattro funzioni tecniche principali:

● Filtrazione dei componenti del vapore: La precisa struttura porosa agisce come un filtro di elevata purezza, garantendo che solo le fasi di vapore desiderate contribuiscano alla formazione dei cristalli, migliorando così la purezza complessiva.

● Controllo preciso della temperatura: Il rivestimento TaC migliora la stabilità termica e la conduttività, consentendo regolazioni più accurate dei gradienti di temperatura locali e un migliore controllo sui tassi di crescita.

● Direzione del flusso guidata: Il design strutturale facilita un flusso guidato di sostanze, garantendo che i materiali vengano consegnati esattamente dove necessario per promuovere una crescita uniforme.

● Controllo efficace delle perdite: Il nostro prodotto offre eccellenti proprietà sigillanti per mantenere l'integrità e la stabilità dell'atmosfera di crescita.

Proprietà fisiche del rivestimento TaC

Confronto con la grafite tradizionale

Rivestimento in carburo di tantalio (TaC) su una sezione trasversale microscopica

Impatto sull'applicazione: minimizzazione dei difetti nel processo PVT

Nel processo PVT (Physical Vapor Transport), la sostituzione della grafite convenzionale con la grafite porosa rivestita in TaC di VeTek risolve direttamente i difetti comuni mostrati nel diagramma:

● Elimitazione delle inclusioni di carbonio: Agendo come barriera alle particelle solide, elimina efficacemente le inclusioni carboniose e riduce i microtubi comuni nei crogioli tradizionali.

● Preservare l’integrità strutturale: Previene la formazione di alveoli e microtubuli durante la crescita del singolo cristallo SiC a ciclo lungo.

● Resa e qualità più elevate: Rispetto ai materiali tradizionali, i componenti rivestiti in TaC garantiscono un ambiente di crescita più pulito, con conseguente qualità dei cristalli e resa produttiva significativamente più elevate.