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Corriere di incisione ICP con rivestimento SIC
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Corriere di incisione ICP con rivestimento SIC

Veteksemicon SIC ICP Etching Carrier è progettato per le applicazioni di apparecchiature epitassia più esigenti. Realizzato in materiale di grafite ultra-puro di alta qualità, il nostro vettore di incisione ICP rivestito SIC ha una superficie altamente piatta e un'eccellente resistenza alla corrosione per resistere alle difficili condizioni durante la manipolazione. L'elevata conduttività termica del vettore rivestito SIC garantisce una distribuzione di calore persino per eccellenti risultati di incisione.

Con anni di esperienza nella produzione vettore di incisione ICP con rivestimento SIC, Vetek Semiconductor può fornire una vasta gamma diSIC rivestitoOTAC rivestitopezzi di ricambio per l'industria dei semiconduttori. Oltre all'elenco dei prodotti di seguito, puoi anche personalizzare le tue parti uniche rivestite con rivestimento SiC o TAC in base alle tue esigenze specifiche. Ben per indagare.


Vetek Semiconductor ICP Etching Carrier rivestito SIC, noto anche come vettori ICP, vettori PSS, vettori RTP o vettori RTP, sono componenti importanti utilizzati in una varietà di applicazioni nel settore dei semiconduttori. La grafite rivestita in carburo di silicio è il materiale primario utilizzato per produrre questi vettori attuali. Ha un'elevata conduttività termica, più di 10 volte la conducibilità termica del substrato di zaffiro. Questa proprietà, combinata con la sua resistenza al campo elettrico ad alto rullo e la massima densità di corrente, ha spinto l'esplorazione del carburo di silicio come potenziale sostituto del silicio in una varietà di applicazioni, in particolare nei componenti ad alta potenza a semiconduttore. Le piastre di portatore di corrente SIC hanno un'alta conducibilità termica, rendendole ideali perProcessi di produzione a LED. 


Garantiscono un'efficace dissipazione del calore e forniscono un'eccellente conduttività elettrica, contribuendo alla produzione di LED ad alta potenza. Inoltre, queste piastre portanti hanno eccellentiResistenza al plasmae una lunga durata di servizio, garantendo prestazioni e vita affidabili nell'ambiente di produzione dei semiconduttori impegnativi.


Veteksemicon ha stabilito relazioni cooperative a lungo termine con molti produttori di semiconduttori. Non vediamo l'ora di costruire con te una partnership a lungo termine.


Parametro del prodotto del vettore di incisione ICP rivestito SIC:

Proprietà fisiche di base diRivestimento CVD SIC
Proprietà Valore tipico
Struttura cristallina Polycristalline della fase β FCC, principalmente (111) orientato
Densità 3,21 g/cm³
Durezza 2500 Vickers Durezza (500 g di carico)
Dimensione del grano 2 ~ 10 mm
Purezza chimica 99.99995%
Capacità termica 640 J · kg-1· K-1
Temperatura di sublimazione 2700 ℃
Forza di flessione 415 MPA RT 4 punti
Modulo di Young 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Conducibilità termica 300W · m-1· K-1
Espansione termica (CTE) 4,5 × 10-6K-1


SemiconduttoreCorriere di incisione ICP con rivestimento SICNegozio di produzione

VeTek Semiconductor SiC Coated ICP Etching Carrier Production Shop


Panoramica della catena dell'industria dell'epitassia del chip a semiconduttore:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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