riscaldatore di rivestimento in ceramica in carburo di silicio

SemiconduttoreIl riscaldatore di rivestimento in ceramica in carburo di silicio è un riscaldatore progettato per ambienti ad alta temperatura e duri. Richiede uno strato di rivestimento in ceramica in carbonio in silicio (SIC) sulla superficie dell'elemento di riscaldamento per dare all'attrezzatura un'eccellente resistenza al calore, resistenza alla corrosione e conducibilità termica. 

Riscaldatore di rivestimento in ceramica in carburo di silicioviene utilizzato principalmente nelle apparecchiature per rivestimento a vuoto (evaporazione). I metodi comunemente usati sono PCD (essiccazione chimica del plasma) e PVD (deposizione di vapore fisico), che sono ampiamente utilizzati nella produzione di semiconduttori e in altre applicazioni industriali ad alta richiesta.

Combinato con il design del rivestimento ad alte prestazioni del riscaldatore di rivestimento in ceramica in carburo di silicio,Può fornire un'eccellente soluzione di riscaldamento per i processi ad alta temperatura.

Eccellente conduttività termica: Il materiale SIC ha un'eccellente conduttività termica, garantendo che il riscaldatore possa ottenere una distribuzione uniforme del calore nell'area di lavoro e ridurre i gradienti di temperatura.

Fornire distribuzione uniforme del calore: Il riscaldatore di rivestimento in ceramica in carburo di silicio utilizza l'elevata conduttività termica del materiale SIC per ottenere una distribuzione uniforme della temperatura in tutta l'area di riscaldamento. Ciò è fondamentale per garantire il trattamento di calore uniforme dei wafer a semiconduttore in vari processi ad alta temperatura come la rapida elaborazione termica (RTP), la diffusione e l'ossidazione, evitando difetti del prodotto causati da surriscaldamento locale o temperatura irregolare.

Tolleranza ad alta temperatura: Il rivestimento SIC consente al riscaldatore di resistere a temperature estremamente elevate, in genere fino a 1600 ° C, adatto a vari processi di elaborazione ad alta temperatura.

Migliorare la resistenza al calore: Poiché il rivestimento può resistere a temperature estremamente elevate, si comporta bene nei processi che richiedono un funzionamento ad alta temperatura a lungo termine. Ad esempio, nei processi di deposizione di vapore chimico (CVD), il riscaldatore di rivestimento in carburo di silicio in carburo può garantire il funzionamento stabile a lungo termine dell'attrezzatura ad alte temperature e mantenere prestazioni di riscaldamento costante, migliorando così la ripetibilità e l'affidabilità del processo.

Resistenza alla corrosione chimica: Il rivestimento SIC ha una resistenza estremamente elevata ad acidi, alcali e gas corrosivi e può rimanere stabile per lungo tempo in un ambiente di atmosfera chimica complessa, estendendo la vita dell'attrezzatura. 

Estendendo la vita dell'attrezzatura: Il rivestimento SIC ha un'eccellente resistenza all'ossidazione e resistenza alla corrosione e può resistere efficacemente all'erosione chimica e all'ossidazione ad alte temperature. Ciò è molto fondamentale nel processo di produzione dei semiconduttori, in particolare in un ambiente che gestisce gas corrosivi e sostanze chimiche. L'effetto protettivo del rivestimento può estendere significativamente la durata del riscaldamento e ridurre la frequenza dei costi di sostituzione e manutenzione delle apparecchiature.

Proprietà fisiche di base del riscaldatore di rivestimento in ceramica in carburo di silicio:

Negozi di riscaldatore in ceramica in carburo di silicio a semiconduttore Vetek:

Panoramica della catena dell'industria dell'epitassia a semiconduttore Vetek: