Componenti del reattore planetario SiC solido Aixtron G10

1. Caratteristiche principali e vantaggi

• Struttura in SiC solido completamente densa e priva di leganti per una resistenza superiore all'usura e alla corrosione

• Eccellente conduttività termica e resistenza agli shock termici a temperature superiori a 1500 °C

• Generazione di particelle estremamente bassa ed elevata purezza, per ridurre al minimo il rischio di contaminazione

• Eccezionale inerzia chimica contro i gas di processo utilizzati nell'epitassia SiC

• Lunga durata in caso di ripetuti cicli ad alta temperatura

• Lavorazione meccanica di precisione con tolleranze dimensionali strette per un adattamento affidabile e stabilità del processo

 2. Applicazioni tipiche

Questi accessori Solid SiC vengono utilizzati nelle aree funzionali chiave del reattore Aixtron G10, tra cui:

• Piastre di copertura ed elementi di copertura selezionati

• Anelli protettivi e componenti ad alta usura

• Perni, rondelle e piccole parti strutturali di precisione

• Altri inserti personalizzati ad elevata purezza esposti a intenso flusso di gas o carico termico

Supportano una distribuzione stabile della temperatura, un'erogazione uniforme del gas e una bassa densità di difetti durante la crescita epitassiale SiC ad alto volume per MOSFET di potenza, diodi e relativi dispositivi ad ampio gap di banda.

3. Perché scegliere VeTek Solid SiC per Aixtron G10?

In qualità di produttore specializzato di materiali per semiconduttori, VeTek Semiconductor fornisce:

• Componenti SiC solidi ad elevata purezza realizzati su misura per i sistemi Aixtron G10, ad esempio: anello di copertura, coperture interne/esterne, piastra di supporto/abbassamento, disco satellitare, suscettore

• Rigoroso controllo della purezza e lavorazione CNC di precisione

• Soluzioni complementari tra cui grafite rivestita in SiC CVD e parti rivestite in TaC per una copertura completa del campo termico

• Progetti personalizzati adattati a specifiche condizioni di processo e configurazioni del reattore

I nostri accessori Solid SiC aiutano i clienti a massimizzare i vantaggi in termini di produttività della piattaforma Aixtron G10 (elevata produzione di wafer, eccellente spessore e uniformità del drogaggio e costi di proprietà competitivi), prolungando al tempo stesso la durata dei componenti e riducendo la perdita di rendimento correlata alle particelle.