Parte di ricambio di rivestimento TAC

SemiconduttorePiastra di rivestimento TACè un materiale speciale ampiamente utilizzato insemiconduttoreprocesso di produzione. In combinazione con la sua elevata durezza e resistenza all'usura, resistenza ad alta temperatura, resistenza alla corrosione, coefficiente di attrito a basso e buona conducibilità termica, la piastra di rivestimento TAC svolge un ruolo insostituibile in molti collegamenti di elaborazione dei semiconduttori.

In generale, le applicazioni diPiatti rivestiti tacNell'elaborazione dei semiconduttori sono i seguenti:

● Substrato di crescita CVD/ALD: La resistenza ad alta temperatura, la stabilità chimica e il coefficiente di attrito a basso contenuto di piastre rivestite TAC li rendono substrati ideali di crescita CVD/ALD. Può fornire un ambiente di crescita stabile per garantire l'uniformità e la densità del film.

●  Piatto di maschera ad incisione: L'elevata durezza e la resistenza alla corrosione delle piastre rivestite TAC consentono loro di resistere ai processi ad alta energia come l'attacco al plasma, come piastre di maschera di incisione, proteggendo il film sottostante.

●  PASH CMP di lucidatura: La resistenza all'usura e il coefficiente di attrito a basso contenuto di piastre rivestite TAC li rendono materiali ideali per i cuscinetti di lucidatura CMP, che possono effettivamente rimuovere particelle e difetti sulla superficie del film.

●  Tubo del forno ad alta temperatura: La resistenza ad alta temperatura e la resistenza alla corrosione delle piastre rivestite TAC consentono di essere utilizzate come tubi del forno in forni ad alta temperatura per ricottura ad alta temperatura, diffusione e altri processi.

Parametri tecnici di rivestimento CVD TAC：

VETEK Semiconductor TAC Rivestimento di ricambi prodotti negozi：