Supporto rotante in grafite

Wafer Susceptor è un must per il processo di crescita epitassiale. Durante la crescita epitassiale, il substrato del wafer viene inserito nel suscettore. I suscettori rotanti di grafite ad alta purezza di VETEK sono utilizzati nelle apparecchiature di elaborazione dei materiali a temperature elevate e ambienti di vuoto elevati. Nella crescita epitassiale del nitruro di gallio (processo MOCVD), svolgono un ruolo di supporto nella rotazione del substrato. Il suscettore di grafite rotante di Vetek Semiconductor ha i seguenti vantaggi:

● elevata purezza: Il contenuto di impurità nei suscettori rotanti di grafite ad alta purezza è inferiore alle 5 ppm. Questo livello di grafite di purezza può evitare il rilascio di impurità ad alte temperature per garantire la pulizia del processo di deposizione. Pertanto, non è richiesto alcun rivestimento per soddisfare le esigenze di lavoro.

Grafite ad alta purezza

● Eccellenti proprietà termiche: La grafite ad alta purezza ha un'eccellente conducibilità termica e la sua conducibilità termica è molto più alta rispetto ad altri materiali. Il coefficiente di espansione termica è piccolo e può mantenere prestazioni stabili quando si verificano variazioni di temperatura.

● Buone proprietà meccaniche: La grafite ad alta purezza ha una buona resistenza all'usura e tenacità, che possono soddisfare i complessi requisiti del processo CVD.

● Eccellente conducibilità: La conduttività è cento volte superiore a quella dei minerali generali non metallici.

● Stabilità chimica: Può resistere alla corrosione da acidi, alcali e solventi organici

Inoltre, come produttore leader e fornitore di suscettori rotanti di grafite ad alta purezza in Cina, Vetek Semiconductor fornisce anche alta qualitàSUSTCTOR GRAPHITE rivestito SIC per MOCVD, Susoce del barilotto rivestito di SIC, Supporto di grafite rivestito TACEMocvd SIC Coating Susceptor.Vetek Semiconductor si impegna a fornire soluzioni avanzate di tecnologia e prodotto per l'industria dei semiconduttori e supporta anche servizi personalizzati. Non vediamo l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina.

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