Rivestimento in carburo di tantalio

VeTek semiconductor è un produttore leader di materiali di rivestimento in carburo di tantalio per l'industria dei semiconduttori. La nostra offerta di prodotti principali comprende parti di rivestimento in carburo di tantalio CVD, parti di rivestimento in TaC sinterizzato per la crescita dei cristalli SiC o il processo di epitassia dei semiconduttori. Superato ISO9001, VeTek Semiconductor ha un buon controllo sulla qualità. VeTek Semiconductor si impegna a diventare innovatore nel settore del rivestimento in carburo di tantalio attraverso la ricerca e lo sviluppo continui di tecnologie iterative.

I prodotti principali sonoAnello guida rivestito in TaC, Anello guida a tre petali rivestito in CVD TaC, Mezzaluna rivestita in TaC al carburo di tantalio, Suscettore epitassiale planetario SiC con rivestimento CVD TaC, Anello di rivestimento in carburo di tantalio, Grafite porosa rivestita in carburo di tantalio, Suscettore di rotazione del rivestimento TaC, Anello in carburo di tantalio, Piastra di rotazione del rivestimento TaC, Suscettore wafer rivestito in TaC, Anello deflettore rivestito in TaC, Copertura con rivestimento CVD TaC, Mandrino rivestito in TaCecc., la purezza è inferiore a 5 ppm e può soddisfare le esigenze del cliente.

La grafite con rivestimento TaC viene creata rivestendo la superficie di un substrato di grafite ad elevata purezza con uno strato sottile di carburo di tantalio mediante un processo proprietario di deposizione chimica in fase vapore (CVD). Il vantaggio è mostrato nell'immagine seguente:

Excellent properties of TaC coating graphite

Il rivestimento in carburo di tantalio (TaC) ha attirato l'attenzione grazie al suo elevato punto di fusione fino a 3880°C, all'eccellente resistenza meccanica, durezza e resistenza agli shock termici, che lo rendono un'alternativa interessante ai processi di epitassia composti di semiconduttori con requisiti di temperatura più elevati, come il sistema Aixtron MOCVD e il processo epitassia LPE SiC. Ha anche un'ampia applicazione nel processo di crescita dei cristalli SiC con metodo PVT.

Caratteristiche principali:

●Stabilità della temperatura

●Purezza ultra elevata

●Resistenza a H2, NH3, SiH4,Si

●Resistenza allo stock termico

●Forte adesione alla grafite

●Copertura del rivestimento conforme

● Dimensioni fino a 750 mm di diametro(L'unico produttore in Cina raggiunge queste dimensioni)

Applicazioni:

●Porta-wafer

● Suscettore di riscaldamento induttivo

● Elemento riscaldante resistivo

●Disco satellitare

●Soffione doccia

●Anello guida

●Ricevitore Epi LED

●Ugello di iniezione

●Anello di mascheramento

● Scudo termico

Rivestimento in carburo di tantalio (TaC) su una sezione trasversale microscopica:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametro del rivestimento in carburo di tantalio di VeTek Semiconductor:

Proprietà fisiche del rivestimento TaC
Densità	14,3 (g/cm³)
Emissività specifica	0.3
Coefficiente di dilatazione termica	6.310^-6/K
Durezza (HK)	2000 Hong Kong
Resistenza	1×10^-5Ohm*cm
Stabilità termica	<2500 ℃
La dimensione della grafite cambia	-10~-20um
Spessore del rivestimento	Valore tipico ≥20um (35um±10um)

Dati EDX del rivestimento TaC：

EDX data of TaC coating

Dati sulla struttura cristallina del rivestimento TaC:

Elemento	Percentuale atomica
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Media
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Loro	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrino con rivestimento TaC Disco planetario con rivestimento TaC
Piastra rivestita in TaC Piastra di rotazione del rivestimento TaC Ricevitore con rivestimento TaC Copertura con rivestimento CVD TaC Anello di rivestimento CVD TaC Piastra di rivestimento TaC

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Anello a tre petali rivestito in TaC

VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader di anelli a tre petali rivestiti in TaC in Cina. Siamo specializzati nel rivestimento TaC e SiC da molti anni. I nostri prodotti hanno resistenza alla corrosione ed elevata resistenza. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina. Benvenuti a consultare in qualsiasi momento.

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Mandrino rivestito in carburo di tantalum

Vetek Semiconductor è uno dei principali produttori di mangimi rivestiti in carburo di Tantalum e innovatore in Cina. Siamo stati specializzati nel rivestimento TAC per molti anni. I nostri prodotti hanno una resistenza ad alta purezza e alta temperatura fino a 2000 ℃. Non vediamo l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina. Da consultare in qualsiasi momento.

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Copertura rivestita in carburo di tantalum

Vetek Semiconductor è uno dei principali produttori di coperture rivestite in carburo di Tantalum e innovatore in Cina. Siamo stati specializzati nel rivestimento TAC e SIC per molti anni. I nostri prodotti hanno una resistenza alla corrosione, alta resistenza. Non vediamo l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina. Ben per consultare in qualsiasi momento.

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Mezzamoon ultra puro di grafite inferiore

Vetek Semiconductor è un fornitore leader di mezzalmo inferiore di grafite ultra puro personalizzata in Cina, specializzata in materiali avanzati per molti anni. La nostra mezzallieva inferiore a grafite ultra pura è specificamente progettata per l'attrezzatura epitassiale SIC, garantendo prestazioni eccellenti. Realizzato in grafite importata ultra-pura, offre affidabilità e durata. Visita la nostra fabbrica in Cina per esplorare la nostra mezzaluna a basso livello di grafite ultra di alta qualità in prima persona.

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Parte di mezzalmo superiore SIC rivestito

Vetek Semiconductor è un fornitore leader di SIC di mezzalmo superiore personalizzato rivestito in Cina, specializzato in materiali avanzati per oltre 20 anni. La parte di mezzalunga superiore a semiconduttore Vetek è stata specificamente progettata per l'attrezzatura epitassiale SIC, fungendo da componente cruciale nella camera di reazione. Realizzato con grafite a semiconduttore ultra-pure, garantisce prestazioni eccellenti. Ti invitiamo a visitare la nostra fabbrica in Cina. Ben per consultare in qualsiasi momento.

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Trasportatore di wafer epitassia in carburo di silicio

Vetek Semiconductor è uno dei principali fornitori di vettori di wafer di epitassia in carburo di silicio personalizzato in Cina. Siamo stati specializzati in materiale avanzato per più di 20 anni. Offriamo un trasportatore di wafer di epitassia in carburo di silicio per il trasporto di substrati SiC, coltivazione di strato di epitassia SiC nel reattore epitassiale SiC. Questo vettore di wafer di epitassia in carburo di silicio è un'importante parte rivestita di SiC della parte di mezzamoia, resistenza ad alta temperatura, resistenza all'ossidazione, resistenza all'usura. Ti diamo il benvenuto a visitare la nostra fabbrica in Cina. Ben per consultare in qualsiasi momento.

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Come produttore e fornitore professionista Rivestimento in carburo di tantalio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Sia che tu abbia bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della propria regione o desideri acquistare avanzati e durevoli Rivestimento in carburo di tantalio realizzati in Cina, puoi lasciarci un messaggio.

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Rivestimento in carburo di tantalio

Caratteristiche principali:

Applicazioni:

Rivestimento in carburo di tantalio (TaC) su una sezione trasversale microscopica:

Parametro del rivestimento in carburo di tantalio di VeTek Semiconductor:

Dati EDX del rivestimento TaC：

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