Rivestimento in carburo di silicio

VeTek Semiconductor è specializzata nella produzione di prodotti di rivestimento in carburo di silicio ultra puri, questi rivestimenti sono progettati per essere applicati a grafite purificata, ceramica e componenti metallici refrattari.

I nostri rivestimenti ad elevata purezza sono destinati principalmente all'uso nei settori dei semiconduttori e dell'elettronica. Fungono da strato protettivo per supporti wafer, suscettori ed elementi riscaldanti, proteggendoli dagli ambienti corrosivi e reattivi incontrati in processi come MOCVD ed EPI. Questi processi sono parte integrante della lavorazione dei wafer e della produzione dei dispositivi. Inoltre, i nostri rivestimenti sono particolarmente adatti per applicazioni in forni a vuoto e riscaldamento di campioni, dove si incontrano ambienti ad alto vuoto, reattivi e con ossigeno.

Noi di VeTek Semiconductor offriamo una soluzione completa con le nostre capacità avanzate di officina meccanica. Ciò ci consente di produrre i componenti di base utilizzando grafite, ceramica o metalli refrattari e di applicare internamente i rivestimenti ceramici SiC o TaC. Forniamo anche servizi di rivestimento per le parti fornite dai clienti, garantendo flessibilità per soddisfare le diverse esigenze.

I nostri prodotti di rivestimento in carburo di silicio sono ampiamente utilizzati nell'epitassia Si, epitassia SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo di incisione, processo di incisione ICP/PSS, processo di vari tipi di LED, inclusi LED blu e verde, LED UV e UV profondo LED ecc., adattato alle apparecchiature LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e così via.

Parti del reattore che possiamo realizzare:

Il rivestimento in carburo di silicio offre diversi vantaggi esclusivi:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametro del rivestimento in carburo di silicio di VeTek Semiconductor

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD
Proprietà	Valore tipico
Struttura cristallina	FCC fase β policristallina, prevalentemente orientata (111).
Densità del rivestimento SiC	3,21 g/cm³
Rivestimento SiCDurezza	Durezza 2500 Vickers (carico 500 g)
Granulometria	2~10μm
Purezza chimica	99,99995%
Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura di sublimazione	2700 ℃
Resistenza alla flessione	415 MPa RT a 4 punti
Modulo di Young	Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
Conducibilità termica	300W·m^-1·K^-1
Dilatazione termica (CTE)	4,5×10-6K^-1

STRUTTURA CRISTALLINA DEL FILM CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Suscettore Epi rivestito in carburo di silicio Supporto per wafer con rivestimento SiC Copertura satellitare rivestita in SiC per MOCVD Suscettore Epi wafer con rivestimento CVD SiC Elemento riscaldante con rivestimento CVD SiC Porta wafer satellitare Aixtron Ricevitore Epi con rivestimento SiC Parti in grafite a mezzaluna con rivestimento in SiC

View as

Anello di ingresso del rivestimento SIC

Vetek Semiconductor eccelle nel collaborare a stretto contatto con i clienti per creare design su misura per l'anello di ingresso del rivestimento SIC su misura per esigenze specifiche. Questi anelli di ingresso del rivestimento SIC sono meticolosamente progettati per diverse applicazioni come le attrezzature SIC CVD e l'epitassia in carburo di silicio. Per le soluzioni su misura per l'anello di ingresso del rivestimento SIC, non esitare a contattare Vetek Semiconductor per assistenza personalizzata.

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Anello di supporto rivestito in SiC

Vetek Semiconductor è un produttore e fornitore di porcellane professionisti, producendo principalmente anelli di supporto rivestiti SIC, rivestimenti in carburo di silicio CVD (SIC), rivestimenti in carburo di tantalum (TAC). Ci impegniamo a fornire un supporto tecnico perfetto e soluzioni di prodotto definitive per l'industria dei semiconduttori, benvenuti a contattarci.

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Wafer Chuck

Wafer Chunk Uno strumento di bloccaggio del wafer nel processo a semiconduttore ed è ampiamente utilizzato in PVD, CVD, Etch e altri processi. Wafer di semiconduttore VETEK Chuck Play Ruoli fondamentali nella produzione di semiconduttori, consentendo un risultato rapido e di alta qualità. Con la produzione interna, i prezzi competitivi e il solido supporto di ricerca e sviluppo, il semiconduttore Vetek eccelle nei servizi OEM/ODM per componenti di precisione.

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Suscettore planetario ald

Processo ALD, significa processo di epitassia a strato atomico. I produttori di sistemi a semiconduttore e ALD Vetek hanno sviluppato e prodotto suscettori planetari ALD rivestiti di SIC che soddisfano gli elevati requisiti del processo ALD per distribuire uniformemente il flusso d'aria sul substrato. Allo stesso tempo, il nostro rivestimento SIC CVD ad alta purezza garantisce la purezza nel processo. Benvenuti a discutere la cooperazione con noi.

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Quindi rivestire il supporto

Vetek Semiconductor si concentra sulla ricerca, lo sviluppo e l'industrializzazione del rivestimento SIC CVD e del rivestimento TAC CVD. Assumendo il suscettore di rivestimento SIC come esempio, il prodotto è altamente elaborato con alta precisione, rivestimento SIC CVD denso, resistenza ad alta temperatura e forte resistenza alla corrosione. La tua richiesta su di noi è la benvenuta.

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Blocco SIC CVD per la crescita dei cristalli SIC

Il blocco SIC CVD per la crescita dei cristalli SIC, è una nuova materia prima ad alta purezza sviluppata da Vetek Semiconductor. Ha un elevato rapporto di input-output e può coltivare cristalli singoli in carburo di silicio di alta qualità di grandi dimensioni, che è un materiale di seconda generazione per sostituire la polvere utilizzata oggi sul mercato. Benvenuti a discutere questioni tecniche.

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Come produttore e fornitore professionista Rivestimento in carburo di silicio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Sia che tu abbia bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della propria regione o desideri acquistare avanzati e durevoli Rivestimento in carburo di silicio realizzati in Cina, puoi lasciarci un messaggio.

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